Die Systeme werden mit einer angeschlossenen Vakuumkammer geliefert und sind mit zwei Referenzmanometern ausgestattet, hier mit Barocel 7025 Kapazitätsmanometern aus der Edwards Barocel 7000 Serie.
Das Kalibriersystem wurde für eine Vielzahl von Anwendungen entwickelt, bei denen die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Vakuummessung ein wichtiger Aspekt des Qualitätsprozesses ist, um die Prozessstabilität und Produktqualität zu gewährleisten.
Das Kalibriersystem ECAL1 ermöglicht den Leistungsvergleich zwischen Referenz- und Prüfmanometern für einen Druckmessbereich von 1000 bis 10-4 mbar. Der Benutzer muss die zulässige Toleranz zwischen Referenzmessgeräten und Prüfgeräten festlegen und dabei die Unsicherheit der verschiedenen Kalibrierungsbedingungen berücksichtigen. Beachten Sie, dass während des Kalibriervorgangs keine Einstellungen an den Prüfgeräten vorgenommen werden dürfen.
Das Edwards-Kalibriersystem ECAL1 ist ein vollautomatisches Pumpsystem, das auf der Turbomolekularpumpstation T-station 85H von Edwards basiert.