TIC-Turbomolekularpumpstationen sind in verschiedenen Sauggeschwindigkeiten von 85 l/s bis 400 l/s, einem TIC-Regler und wahlweise mit ölgedichteter oder trockener Vorpumpe erhältlich.
Alle Turbomolekularpumpstationen von Edwards sind mit einem TIC-Turbo und einem Instrumentencontroller ausgestattet, der Folgendes ermöglicht:
Alle unsere TIC-Turbomolekularpumpstationen sind mit nEXT-Turbomolekularpumpen ausgestattet, die sich durch bewährte Zuverlässigkeit und Wartungsfreundlichkeit durch den Endbenutzer auszeichnen. Ölgedichtete Pumpen werden standardmäßig mit einem EMF-Nebelfilter geliefert, und trockene nXDS-Scrollpumpen haben standardmäßig ein Absperrventil, das zwischen der Turbopumpe und der Vorpumpe montiert ist.
| Einheit | nEXT85 | nEXT85 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | |
| Einlassflansch | NW40 | ISO/CF63 | ISO/CF100 | ISO/CF100 | ISO/CF160 | |
| Saugvermögen für N 2 | l/s | 47 | 84 | 240 | 300 | 400 |
| Verdichtungsverhältnis für N 2 | >1×10 11 | >1×10 11 | >1×10 11 | >1×10 11 | >1×10 11 | |
| Vorpumpendrehzahl 50 Hz (nass) | m³/Std | 5 – 12 | 5 – 12 | 5 – 12 | 5 – 12 | 5 – 12 |
| Vorpumpendrehzahl 50 Hz (trocken) | m³/Std | 1.2 – 22 | 1.2 – 22 | 6 – 22 | 6 – 22 | 6 – 22 |
| Ultimatives Vakuum | Millibar | <5×10 -10 | <5×10 -10 | <5×10 -10 | <5×10 -10 | <5×10 -10 |
| Geräuschpegel auf höchstem Niveau | dB(A) | <56 | <56 | <56 | <56 | <56 |
| Regler | TIC | TIC | TIC | TIC | TIC | |
| Optionen für Vorpumpen | nXDS/RV/XDD | nXDS/RV/XDD | nXDS / RV | nXDS / RV | nXDS / RV |
