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Vakuumbe schichtung sanlagen

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Vakuum

& Beschichtungs-F&E

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Elektrik & Automatismus

Maschinenbau

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01

Vakuumbeschichtungsanlagen

s800v

Kompakte Hart-PVD-Funktionsbeschichtung S800

mehr
s1000v

Kompakte Hart-PVD-Funktionsbeschichtung S1000

mehr
bt150

HHV BT150 & BT300 Tischbeschichtungsmaschine

mehr
HHV-Auto-306-Laborbeschichter

HHV Auto 306 Laborbeschichter

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ats500

HHV ATS 500 Forschungs- und Produktionsbeschichter

mehr
tf500

HHV TF 500/600/800 Kastenbeschichtungsanlagen

mehr

02

Vakuumofen

Daumen__0_350_0_0_Landschaft__355

LVO - Niedervakuumofen

mehr
Daumen__0_350_0_0_Landschaft__334

MVO - Mittelvakuumofen

mehr
Daumen__0_350_0_0_Landschaft__322

HVO - Hochvakuumofen

mehr

03

Spezielle Vakuum- und Beschichtungsforschung und -entwicklung

  • Wärmebehandlung mit Spiralfeder
  • Vakuum- und Entgasungsmaschine
  • Trocknen
  • Vakuumkühlfallen
  • Vakuumofen
  • Alle Sonderentwicklungen einschließlich Maschinen- und Automatisierungstechnik

04

Elektro- und Automatisierungstechnik

  • Bedarfsdefinition und Umsetzung multipolarer Schemata auf Eplan
  • 3D-Integration von Komponenten und Ansicht von Montageplatten
  • Erstellung der Komponentennomenklatur – Erstellung der Einkaufslisten
  • Montage und Verdrahtung nach gelieferter oder gefertigter Konstruktion und Plänen
  • Draht- und Elementverfolgung
  • Elektrische Prüfung nach EN 60204-1 und Erstellung eines Prüfprotokolls
electric-board
elektrische Platine

Komplette Studien und Design von elektrischen Bordinstallationen.

boxe
Elektrische Schränke und Kästen

Design und Installation von Schaltschränken und Boxen

cable
Geräteverkabelung

Installation von spezialisierten Geräten Verkabelung

Offizieller Schweizer Distributor von

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Entworfen und entwickelt von imaqa®imaqa®imaqa®

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Compact hard PVD
Functional Coating

S800

  • Compact system (H2200 x W1650 x L3500)
  • Utilities in a single part of the unit
  • Extremely short utility commissioning
  • Fast to install

S800

Performances

  • High productivity, fast cycle time
  • Easy to use, easy to service and maintain
  • Up to 1-4 materials for coating design
  • High performance coating
  • Glow discharge etching and metal ion etching
  • Recipes: TiN, CrN, TiCN, AlTiN, AlCrN, AlTiSiN, ...

Specifications

  • Internal chamber size (mm): 800 x 1050
  • Usable plasma volume (mm): D500 x H550
  • Bias power supply: DC pulsed 15 or 20 kW
  • Arc power supply: DC 250 A or 400 A pulsed
  • Shank tools capacity Ø6 x 50 mm: 1500 pcs/batch
  • Hobs tools capacity Ø80 x 180 mm: 24 pcs/batch
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Compact hard PVD
Functional Coating

S1000

  • Compact system (H2200 x W1650 x L3900)
  • Utilities in a single part of the unit
  • Extremely short utility commissioning
  • Fast to install

S1000

Performances

  • High productivity, fast cycle time
  • Easy to use, easy to service and maintain
  • Up to 1-4 materials for coating design
  • High performance coating
  • Glow discharge etching and metal ion etching
  • Recipes: TiN, CrN, TiCN, AlTiN, AlCrN, AlTiSiN, ...

Specifications

  • Internal chamber size (mm): 1000 x 1250
  • Usable plasma volume (mm): D700 x H700
  • Bias power supply: DC pulsed 20 kW
  • Arc power supply: 400 A pulsed
  • Shank tools capacity Ø6 x 50 mm: 3000 pcs/batch
  • Hobs tools capacity Ø80 x 180 mm: 48 pcs/batch
bt150
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HHV Bench Top Sputter Coaters

BT150-300

  • New bench-top deposition tools for EM sample prep and R&D
  • Touch screen control system for automatic sample coating
  • Wide range of sample stages
  • Integrated film thickness monitoring
  • Easy target change

BT150

Process options

  • Metals sputtering for SEM
  • Carbon fibre evaporation for TEM
  • Carbon rod evaporation for TEM
  • Resistance evaporation
  • Glow discharge
  • Water-cooled SEM stage with bias function
  • Rotary stages for SEM stubs
  • Rotary stages for wafer substrates
  • Integrated film thickness monitor

Control features

  • Fully automatic touch-screen control
  • User editable process contrai
  • With storage for 30 recipes
  • Automatic recognition of process accessories
  • Rotary and turbo pump options
HHV-Auto-306-laboratory-coater
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Vacuum Coating System

Auto 306

Auto306 is available with glass bell jar and glass cylinder chamber options. Also available is the versatile FL400 front-loading box chamber which provides additional height and width for the fitting of extra process accessories.

Auto306

Features and Benefits

  • Touch screen PLC control of vacuum
  • Choice of deposition sources and power supplies
  • Range of work holders
  • Range of vacuum chambers ta suit applications

F

  • Intelligent high vacuum valve protects pumps and samples
  • Compact unit minimises space requirements
  • No compressed air required
  • Fully interlocked for operator safety
ats500
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Box Coating Systems

ATS500

  • Resistance evaporation sources
  • Electron beam sources for high-rate evaporation and lift-off processes
  • lon-beam assistance for optical applications or substrate cleaning
  • Combination systems featuring two or more of the above
  • Temperature controlled evaporation sources for OLED and organic photovoltaic applications

ATS500

Features and Benefits

  • Flexibility - wide range of processes in a single system package
  • Ion beam processes - for optical coating applications
  • Cost - ATS 500 is designed as an affordable, versatile system
tf500
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Box Coating Systems

TF500/600

The HHV TF500 and TF600 are developed for enhanced levels of process capability. A choice of chamber sizes and accessories, deposition techniques, work holders, load locks and pumping options allows the system to be configured to your exact needs. TF500 allows multiple sources to be accommodated and TF600 adds the benefits of ion beam processing.

TF500

TF500/600 system features

  • Wide range of chamber size options allows optimum source to substrate configurations
  • Resistance and electron beam evaporation
  • DC and RF sputtering with upward and download configuration
  • Ion beam sources for etch and ion-assisted deposition
  • Load locks and sample handling

F

  • High temperature substrate heating to 900°C
  • PLC control option for semi-automatic operation
  • PC control option for fully-automated deposition process with recipe control, data logging and system diagnostics
  • Choice of turbo pumps from 500 l/s to 2200 l/s
  • Choice of cryo pumps from 1500 l/s to 3500 l/s
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Jambe-Ducommun 19 - CH - 2400 Le Locle

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Kompakte Hart-PVD
Funktionelle Beschichtung

S800

  • Kompaktes System (H2200 x B1650 x L3500)
  • Dienstprogramme in einem einzigen Teil der Einheit
  • Extrem kurze Utility-Inbetriebnahme
  • Schnell zu installieren

S800

Aufführungen

  • Hohe Produktivität, schnelle Zykluszeit
  • Einfach zu bedienen, einfach zu warten und zu warten
  • Bis zu 1-4 Materialien für die Beschichtungsgestaltung
  • Hochleistungsbeschichtung
  • Glimmentladungsätzen und Metallionenätzen
  • Rezepturen: TiN, CrN, TiCN, AlTiN, AlCrN, AlTiSiN, ...

Spezifikationen

  • Interne Kammergröße (mm): 800 x 1050
  • Nutzbares Plasmavolumen (mm): T500 x H550
  • Vorspannungsversorgung: DC gepulst 15 oder 20 kW
  • Lichtbogenstromversorgung: DC 250 A oder 400 A gepulst
  • Schaftwerkzeugkapazität Ø6 x 50 mm: 1500 Stück/Charge
  • Wälzfräser Kapazität Ø80 x 180 mm: 24 Stück/Charge
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Kompakte Hart-PVD
Funktionelle Beschichtung

S1000

  • Kompaktes System (H2200 x B1650 x L3900)
  • Dienstprogramme in einem einzigen Teil der Einheit
  • Extrem kurze Utility-Inbetriebnahme
  • Schnell zu installieren

S1000

Aufführungen

  • Hohe Produktivität, schnelle Zykluszeit
  • Einfach zu bedienen, einfach zu warten und zu warten
  • Bis zu 1-4 Materialien für die Beschichtungsgestaltung
  • Hochleistungsbeschichtung
  • Glimmentladungsätzen und Metallionenätzen
  • Rezepturen: TiN, CrN, TiCN, AlTiN, AlCrN, AlTiSiN, ...

Spezifikationen

  • Interne Kammergröße (mm): 1000 x 1250
  • Nutzbares Plasmavolumen (mm): D700 x H700
  • Vorspannungsversorgung: DC gepulst 20 kW
  • Lichtbogenstromversorgung: 400 A gepulst
  • Schaftwerkzeugkapazität Ø6 x 50 mm: 3000 Stück/Charge
  • Wälzfräser Kapazität Ø80 x 180 mm: 48 Stück/Charge
bt150
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HHV Bench Top Sputter Coater

BT150-300

  • Neue Benchtop-Depositionswerkzeuge für EM-Probenvorbereitung und F&E
  • Touchscreen-Steuerungssystem für die automatische Probenbeschichtung
  • Große Auswahl an Probenbühnen
  • Integrierte Schichtdickenüberwachung
  • Einfacher Zielwechsel

BT150

Prozessoptionen

  • Sputtern von Metallen für SEM
  • Kohlefaserverdampfung für TEM
  • Kohlestabverdampfung für TEM
  • Widerstandsverdampfung
  • Glimmentladung
  • Wassergekühlter REM-Tisch mit Bias-Funktion
  • Drehtische für REM-Stubs
  • Drehtische für Wafersubstrate
  • Integrierte Schichtdickenüberwachung

Steuerungsfunktionen

  • Vollautomatische Touchscreen-Steuerung
  • Vom Benutzer bearbeitbarer Prozesskontra
  • Mit Speicher für 30 Rezepte
  • Automatische Erkennung von Prozesszubehör
  • Rotations- und Turbopumpenoptionen
HHV-Auto-306-Laborbeschichter
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Vakuumbeschichtungssystem

Automatisch 306

Auto306 ist mit Glasglocken- und Glaszylinderkammeroptionen erhältlich. Ebenfalls erhältlich ist die vielseitige Kastenkammer FL400 mit Frontbeladung, die zusätzliche Höhe und Breite für die Anbringung von zusätzlichem Prozesszubehör bietet.

Auto306

Funktionen und Vorteile

  • Touchscreen-SPS-Steuerung des Vakuums
  • Wahl der Abscheidungsquellen und Stromversorgungen
  • Auswahl an Werkstückhaltern
  • Auswahl an Vakuumkammern für Anwendungen

F

  • Intelligentes Hochvakuumventil schützt Pumpen und Proben
  • Kompakte Einheit minimiert den Platzbedarf
  • Keine Druckluft erforderlich
  • Vollständig verriegelt für die Sicherheit des Bedieners
ats500
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Box-Beschichtungssysteme

ATS500

  • Widerstandsverdampfungsquellen
  • Elektronenstrahlquellen für Hochraten-Verdampfungs- und Lift-Off-Prozesse
  • lon-Beam-Unterstützung für optische Anwendungen oder Substratreinigung
  • Kombinationssysteme mit zwei oder mehr der oben genannten
  • Temperaturgesteuerte Verdampfungsquellen für OLED- und organische Photovoltaikanwendungen

ATS500

Funktionen und Vorteile

  • Flexibilität - breite Palette von Prozessen in einem einzigen Systempaket
  • Ionenstrahlverfahren - für optische Beschichtungsanwendungen
  • Kosten - ATS 500 ist als erschwingliches, vielseitiges System konzipiert
tf500
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Box-Beschichtungssysteme

TF500/600

Die HHV TF500 und TF600 wurden für verbesserte Prozessfähigkeit entwickelt.
Eine Auswahl an Kammergrößen und Zubehör, Abscheidungstechniken, Werkstückhaltern, Ladeschleusen und Pumpoptionen ermöglicht die Konfiguration des Systems nach Ihren genauen Anforderungen. TF500 ermöglicht die Aufnahme mehrerer Quellen und TF600 fügt die Vorteile der Ionenstrahlverarbeitung hinzu.

TF500

TF500/600-Systemfunktionen

  • Eine große Auswahl an Kammergrößenoptionen ermöglicht optimale Quelle-zu-Substrat-Konfigurationen
  • Widerstands- und Elektronenstrahlverdampfung
  • DC- und HF-Sputtern mit Aufwärts- und Download-Konfiguration
  • Ionenstrahlquellen für Ätz- und Ionen-unterstützte Abscheidung
  • Ladeschleusen und Probenhandhabung

F

  • Hochtemperatur-Substraterwärmung auf 900 °C
  • SPS-Steuerungsoption für halbautomatischen Betrieb
  • PC-Steuerungsoption für vollautomatischen Abscheidungsprozess mit Rezeptsteuerung, Datenprotokollierung und Systemdiagnose
  • Auswahl an Turbopumpen von 500 l/s bis 2200 l/s
  • Auswahl an Kryopumpen von 1500 l/s bis 3500 l/s