Speziell entwickelt, um gefährliche Gase aus Vakuumpumpenabgasen bei Halbleiterprozessen sicher zu entfernen.
Der GRC ist ein einzigartiger Heißbettreaktor, der giftige Gase chemisch zerstört. Es behandelt die breiteste Palette und Mischung von Gasen in einem System, ohne neue Probleme bei der Abwasserentsorgung zu schaffen. Eine proprietäre Mischung aus anorganischen Granulaten befindet sich in einer geschweißten Edelstahlkartusche. Dieses wird durch Einführen in einen röhrenförmigen elektrischen Heizer auf einer erhöhten Temperatur gehalten. Gefährliche Abgase, die in die Kartusche gelangen, werden vollständig chemisch umgesetzt und in einsatzstabile anorganische Salze umgewandelt.
