{"id":7140,"date":"2024-10-29T19:35:45","date_gmt":"2024-10-29T18:35:45","guid":{"rendered":"https:\/\/plasmadiam.com\/products\/atlas\/"},"modified":"2025-01-09T14:31:01","modified_gmt":"2025-01-09T13:31:01","slug":"atlas","status":"publish","type":"vacuum-pumps","link":"https:\/\/plasmadiam.com\/de\/produkte\/atlas\/","title":{"rendered":"Atlas"},"content":{"rendered":"\t\t
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Atlas<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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Unerreichte Emissionsminderungsleistung<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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\n\t\t\t\t\t\t\t\t\tAtlas\u2122 von Edwards bietet herausragende Zuverl\u00e4ssigkeit, exzellente Pulverhandhabung und Korrosionsbest\u00e4ndigkeit und liefert eine hohe Abscheideleistung f\u00fcr die Halbleiter-, Flachbildschirm-, Solar- und MOCVD-Industrie.\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t
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Atlas bietet eine un\u00fcbertroffene Leistung bei der Emissionsminderung<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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Atlas Technologie zur Abgasreinigung: eine Reihe von L\u00f6sungen zur Abgasreinigung – speziell f\u00fcr Ihren Prozess:<\/p>\n\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t

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  • \n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\n\t\t\t\t\t\t\t<\/polygon><\/g><\/svg>\t\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tAtlas TPU f\u00fcr PFC-Gase (ClF3, C2F6, C3F8) in CVD-Prozessen<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t\t\t
  • \n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\n\t\t\t\t\t\t\t<\/polygon><\/g><\/svg>\t\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tAtlas Kronis f\u00fcr CVD-Gase mit niedrigem K-Wert in Prozessen der n\u00e4chsten Generation<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t\t\t
  • \n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\n\t\t\t\t\t\t\t<\/polygon><\/g><\/svg>\t\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tAtlas Etch f\u00fcr das \u00c4tzen von Halbleitern und Flachbildschirmen (CF4, SF6 und PFCs mit hohem Durchfluss)<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t\t\t
  • \n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\n\t\t\t\t\t\t\t<\/polygon><\/g><\/svg>\t\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tAtlas Helios f\u00fcr die sichere Behandlung von Wasserstoffprozessen in der Epitaxie und MOCVD<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t<\/ul>\n\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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    Atlas\u2122 Systeme haben im Vergleich zu Gasminderungsger\u00e4ten der vorherigen Generation einen niedrigen Kraftstoffverbrauch. Wir verwenden die bew\u00e4hrte Alzeta\u2122-Brennertechnologie mit Innenbefeuerung, um die Betriebskosten erheblich zu senken. Mit einem bis sechs Einl\u00e4ssen und einer Reihe von Optionen, einschlie\u00dflich eines Temperaturmanagementsystems (TMS), k\u00f6nnen Atlas-Systeme eine Durchflusskapazit\u00e4t von bis zu 1.200 slm behandeln. Sie sind so konzipiert, dass sie einfach zu bedienen sind und eine effizientere Wartung erm\u00f6glichen. <\/p>\n\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t

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    Edwards' Verbrennungstechnologie mit Innenbefeuerung<\/h2>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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    Die von den meisten gro\u00dfen Halbleiterherstellern eingesetzte Brennkammer mit Innenbefeuerung hat sich seit 1994 zu einem weltweiten Standard bei der Abgasreinigung entwickelt.<\/p>\n

    Unsere einzigartige Verbrennungstechnologie arbeitet mit einer gleichm\u00e4\u00dfigen Verbrennungstemperatur. Dies gew\u00e4hrleistet sehr niedrige Hintergrundemissionen, und der nach innen gerichtete Gasstrom verhindert den Kontakt des Prozessmaterials mit den Kammerw\u00e4nden, wodurch die Verstopfung durch Feststoffe minimiert wird. Die exklusive Zusammensetzung des Brennkammermaterials sorgt f\u00fcr eine \u00fcberragende Korrosionsbest\u00e4ndigkeit und tr\u00e4gt dazu bei, dass der Atlas konkurrenzlos zuverl\u00e4ssig und sicher ist. <\/p>\n

    In unserem hochmodernen Umweltinnovationszentrum verf\u00fcgen wir \u00fcber prozessabgestimmte L\u00f6sungen f\u00fcr herausragende Leistungen, die sich in der Praxis bew\u00e4hrt haben und von Dritten \u00fcberpr\u00fcft wurden. Die DREs zur Emissionsminderung gehen in der Regel \u00fcber die globale und lokale Gesetzgebung hinaus: <\/p>\n\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t

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    • \n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\n\t\t\t\t\t\t\t<\/polygon><\/g><\/svg>\t\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tNF3 : >99% \/ <\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t\t\t
    • \n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\n\t\t\t\t\t\t\t<\/polygon><\/g><\/svg>\t\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tF2 : >99% \/ <\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t\t\t
    • \n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\n\t\t\t\t\t\t\t<\/polygon><\/g><\/svg>\t\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tCF4 : >90%<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t\t\t
    • \n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\t\n\t\t\t\t\t\t\t<\/polygon><\/g><\/svg>\t\t\t\t\t\t<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t\tAndere PFCs : >99%<\/span>\n\t\t\t\t\t\t\t\t\t<\/li>\n\t\t\t\t\t\t<\/ul>\n\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t
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      Mit einer umfangreichen Installationsbasis, einem unvergleichlichen globalen Anwendungsteam und Service-Support k\u00f6nnen wir Ihnen die beste L\u00f6sung f\u00fcr Ihre Prozessanforderungen bieten. Setzen Sie sich mit unserem Team in Verbindung, damit wir gemeinsam die beste L\u00f6sung finden k\u00f6nnen. <\/p>\n\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t","protected":false},"featured_media":5957,"parent":0,"template":"","pumps-category":[148],"class_list":["post-7140","vacuum-pumps","type-vacuum-pumps","status-publish","has-post-thumbnail","hentry","pumps-category-umweltfreundliche-losungen"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/plasmadiam.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/vacuum-pumps\/7140","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/plasmadiam.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/vacuum-pumps"}],"about":[{"href":"https:\/\/plasmadiam.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/vacuum-pumps"}],"version-history":[{"count":0,"href":"https:\/\/plasmadiam.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/vacuum-pumps\/7140\/revisions"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/plasmadiam.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/5957"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/plasmadiam.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=7140"}],"wp:term":[{"taxonomy":"pumps-category","embeddable":true,"href":"https:\/\/plasmadiam.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pumps-category?post=7140"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}