Les refroidisseurs cryogéniques Edwards Polycold® MaxCool sont des systèmes de réfrigération cryogénique en boucle fermée qui capturent efficacement la vapeur d’eau, qui comprend 65 % à 95 % du gaz résiduel dans les systèmes à vide poussé.
Les cryochillers MaxCool sont la mise à niveau la plus rentable que vous puissiez ajouter à tout système à pompe à diffusion, à turbopompe ou à cryopompe à l’hélium.
Ces cryochillers peuvent être utilisés pour capturer la vapeur d’eau et d’autres substances condensables en les congelant sur une surface froide telle qu’un cryocoil ou un déflecteur à chevrons. Les cryochillers MaxCool sont également utilisés pour refroidir et chauffer des objets tels que les mandrins électrostatiques utilisés dans le traitement des tranches de semi-conducteurs. Les différents modèles de notre gamme fournissent 2 000, 2 500 ou 4 000 watts de refroidissement.
La vapeur d’eau est généralement le contaminant le plus réactif présent dans les systèmes à vide poussé. Avec nos refroidisseurs cryogéniques MaxCool, vous pouvez vous attendre à une augmentation du débit de produit dans votre système existant de 20 % à 100 % et à une amélioration de la qualité du dépôt.
Lorsqu’ils sont ajoutés à votre système de vide, les cryochillers MaxCool peuvent réduire considérablement les temps de pompage et augmenter le débit de produit. Le MaxCool pompera la vapeur d’eau en quelques minutes après le démarrage et peut dégivrer en moins de quatre minutes, offrant une véritable capacité de cycle rapide. Il dispose également d’une option appelée Rapid Cool to Cool, qui élimine la période d’attente après le dégivrage, permettant à votre système d’effectuer plus de cycles de production par quart de travail. Utilisant des mélanges de réfrigérants Polycold® brevetés, nos cryochillers MaxCool fonctionnent sur le principe du piégeage de Meissner. La vapeur d’eau est capturée par condensation sur une surface refroidie cryogéniquement, appelée serpentin de Meissner. Le Meissner (cryocoil) est monté directement dans la chambre à vide afin que la conductance ne soit pas limitée par les orifices, les collecteurs, les vannes et les chicanes. Le cryocoil est facile à installer et peut être adapté à n’importe quel système. Il n’a pas besoin d’une vanne à vide poussé.
Max Cool 2000 | MaxCool 2500L | MaxCool 4000H | |
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Capacité de refroidissement maximale | 2 000 W | 2 500 W | 4 000 W |
Température à la capacité de refroidissement maximale | -111 °C | -120 °C | -98 °C |
Température la plus froide | -142 °C | -145 °C | -133 °C |
Pression de fonctionnement ultime (25 % de la vitesse de pompage maximale) | 3E-9 torrs | 8E-10 torrs | 5E-8 torrs |
Zone typique de piège à froid | 1,1 m2 | 1,4 m2 | 2,2 m2 |
Vitesse maximale de pompage de vapeur d’eau à partir d’une zone typique de piège à froid | 163 900 l/s | 208 600 l/s | 327 800 l/s |
Zone de piège à froid maximale conservatrice* | 1,5 m2 | 2,0 m2 | 2,8 m2 |
Consommation électrique (mode veille) | 5,5kW | 11,4kW | 12,0 kW |
Consommation électrique (mode refroidissement, charge typique) | 6,2kW | 13,9kW | 12,4kW |
Consommation électrique (mode refroidissement, charge maximale) | 8,8kW | 19,2kW | 19,2kW |
Débit d’eau de refroidissement pour 13 °C | 6,8 l/min | 15,1 l/min | 15,1 l/min |
Débit d’eau de refroidissement pour 18 °C | 9,1 l/min | 18,2 l/min | 18,2 l/min |
Débit d’eau de refroidissement pour 24 °C | 13,6 l/min | 27,3 l/min | 27,3 l/min |
Débit d’eau de refroidissement pour 29 °C | 27,6 l/min | 54,1 l/min | 54,1 l/min |
Conforme à la DESP européenne | Oui | Oui | Oui |
Réfrigérants non toxiques | Oui | Oui | Oui |
Réfrigérants ininflammables | Oui | Oui | Oui |