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Ingénierie
Auto306 is available with glass bell jar and glass cylinder chamber options. Also available is the versatile FL400 front-loading box chamber which provides additional height and width for the fitting of extra process accessories.
Auto306 est disponible avec des options de cloche en verre et de chambre cylindrique en verre. La chambre polyvalente à chargement frontal FL400 est également disponible, ce qui offre une hauteur et une largeur supplémentaires pour le montage d’accessoires de traitement supplémentaires.
Les HHV TF500 et TF600 sont développés pour des niveaux améliorés de capacité de processus.
Un choix de tailles de chambre et d’accessoires, de techniques de dépôt, de porte-pièces, de verrous de charge et d’options de pompage permet au système d’être configuré selon vos besoins exacts. Le TF500 permet d’accueillir plusieurs sources et le TF600 ajoute les avantages du traitement par faisceau ionique.
