Keine beweglichen Teile
Strahlungstolerante Materialien mit mehr als 108 Gray
Bis zu 250°C und sogar 450°C
Die Capture-Pumpen benötigen praktisch keine Wartung
Niedrige Anschaffungs- und Betriebskosten
Auch bekannt als Sputter-Ionenpumpen oder Ionen-Getter-Pumpen, sind Capture-Pumpen, die Gase mithilfe einer Anoden-/Kathodenanordnung ionisieren. Die Ionen zerstäuben reaktive Kathodenmaterialien und lösen eine chemische Reaktion aus, die die ionisierten Gase in feste Verbindungen umwandelt. Diese Verbindungen tragen nicht mehr zum Druck des Vakuumsystems bei und werden dauerhaft in der Ionenpumpe eingeschlossen. Ionenpumpen können in einem Bereich von 10-5 bis 10-12 mbar arbeiten und haben eine Größe von 0,2 bis 1.200 l/s Stickstoff.
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MINI |
3S |
5S |
10S/SW |
10ST |
25S/SW |
25ST |
45S |
75S |
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Pumpendrehzahl |
l/s |
0.2 |
2-3 |
4-5 |
8-10 |
8-10 |
15-20 |
15-20 |
30-40 |
40-75 |
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Ultimativer Druck |
mbar |
1×10-11 |
1×10-11 |
1×10-11 |
1×10-11 |
1×10-11 |
1×10-11 |
1×10-11 |
1×10-11 |
1×10-11 |
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Startdruck |
mbar |
≤1×10-4 |
≤1×10-4 |
≤1×10-4 |
≤1×10-3 |
≤1×10-3 |
≤1×10-3 |
≤1×10-3 |
≤1×10-3 |
≤1×10-3 |
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Betriebstemperatur beim Backen |
°C |
95 |
450 |
250 |
250 |
80 |
250 |
100 |
250 |
250 |
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Max. Backtemperatur (Magnete entfernt) |
°C |
450 |
200 |
450 |
450 |
450 |
450 |
450 |
450 |
450 |
Mechanische Vibration eliminiert
Abscheidungspumpen haben keine beweglichen Teile. Vibrationen durch bewegliche Teile und elektrische Geräusche sind ausgeschlossen.
Hohe Strahlungstoleranz
Capture-Pumpen werden aus strahlenresistenten Materialien hergestellt, die mehr als 108 Gray aufweisen. Stecker und Kabel sind ebenfalls aus strahlenresistenten Materialien gefertigt und gewährleisten einen jahrelangen Dauerbetrieb.
Hohe Temperaturtoleranz
ohne besondere Rücksichtnahme können die Capture Pumps bis 250 °C gebacken werden. Wenn Sie die Magnete entfernen, können Sie noch heißere Temperaturen von bis zu 450 °C erreichen. Lange Heißbackzeiten sind für jedes UHV-System entscheidend
Regelmäßige Wartung entfällt
Abscheidungspumpen sind praktisch wartungsfrei und vermeiden kostspielige Vakuumereignisse, da sie von der Atmosphäre abgeschlossen sind, was Zeit, Geld und Ressourcen spart.
Niedrige anfängliche Betriebskosten
Die Anschaffungskosten sind in der Regel geringer als bei vergleichbaren Vakuumpumpen anderer Hersteller. Sie verbrauchen nur wenig oder gar keinen Strom und sind daher über Jahre hinweg kostengünstig zu betreiben.
+41 (0)32 926 26 06
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Jambe-Ducommun 19 – 2400 Le Locle
