ATS500

ATS500

Vakuum-Beschichtungsanlage

Die TS 500 wurde für die Forschung und Kleinserienproduktion in den Bereichen OLED und organische Elektronik, Photovoltaik, Halbleiterbauelemente, Linsen und optische Filter entwickelt. Das System verfügt über eine Vollfarb-Touchscreen-SPS mit integrierter Prozessrezeptursteuerung und Datenprotokollierungsfunktionen. Ein PC-Kontrai ist als Option erhältlich.

Box-Beschichtungssysteme

ATS500

Eigenschaften und Vorteile