Kompressoren

Kompressoren

Verbesserung des Vakuums

Edwards CTI-Cryogenics bietet eine Auswahl an Kompressoren an, die für eine optimale Leistung mit On-Board-Kryopumpen, Cryo-Torr-Kryopumpen und/oder On-Board-Wasserpumpen ausgelegt sind. Ein integrierter Kryopumpen-Frequenzumrichter sorgt bei allen Edwards-Vakuumpumpen für eine maximale Kryopumpenleistung sowohl bei 50- als auch bei 60-Hz-Anwendungen.

Edwards CTI-Cryogenics Palette von Kompressoren

8200 Kompressor

9600 Kompressor

9700A Kompressor

Mit seiner erhöhten Heliumleistung ist der 9700A Compressor ideal für den Betrieb mehrerer Kryopumpen. Bei vielen Anwendungen mit mehreren Kryopumpen und Wasserpumpen bietet ein 9700A Compressor eine einzige Kompressorlösung. Der 9700A Compressor, der im Vergleich zu Anwendungen mit mehreren Kompressoren den Stromverbrauch, die Wasserverteilung und den Platzbedarf reduziert, ist mit Cryo-Torr und On-Board Kryopumpen kompatibel.

IS-Kompressoren

IS-1000 Compressor - intelligente, hocheffiziente Kompressortechnologie für On-Board IS Kryopumpen. Der IS-1000 Compressor unterstützt bis zu sechs On-Board IS-8F Kryopumpen auf der gleichen Grundfläche wie ein 9600 Compressor. IS-2000V Compressor - liefert den niedrigsten Stromverbrauch in allen Betriebsphasen durch die Kombination von höherem Druck, Rotationstechnologie und anpassbarer Heliumzufuhr, die mit den Zielen von SEMI S-23 übereinstimmt. Der IS-2000V ersetzt zwei On-Board IS-1000 Kompressoren. Dieser Heliumkompressor mit hoher Kapazität wurde entwickelt, um On-Board IS Cryopump-Anwendungen zu unterstützen. Ein integrierter Frequenzumrichter für die Kryopumpe sorgt für eine maximale Leistung der Kryopumpe sowohl bei 50 als auch bei 60 Hz Anwendungen.

Komponenten