Ionenpumpen erzeugen Hochvakuum- und Ultrahochvakuum (UHV)-Umgebungen in einer Vielzahl von Anwendungen, die von tragbaren Massenspektrometern bis hin zu großen Teilchenbeschleunigern reichen.
Keine beweglichen Teile
Strahlungsbeständige Materialien über 108 Gray
Bis zu 250°C und sogar 450°C
Capture-Pumpen erforderten praktisch keine Wartung
Niedrige Anschaffungs- und Betriebskosten
Auch als Sputter-Ionenpumpen oder Ionengetterpumpen bekannt, sind Einfangpumpen, die Gase unter Verwendung eines Anoden-/Kathoden-Arrays ionisieren. Ionen zerstäuben reaktive Kathodenmaterialien und erzeugen eine chemische Reaktion, die die ionisierten Gase in feste Verbindungen umwandelt. Diese Verbindungen tragen nicht länger zum Druck des Vakuumsystems bei und werden dauerhaft in der Ionenpumpe eingefangen. Ionenpumpen können von 10 -5 bis 10 -12 mbar betrieben werden und haben einen Größenbereich von 0,2 bis 1.200 l/s Stickstoff.
Capture-Pumpen haben keine beweglichen Teile. Vibrationen von beweglichen Teilen und elektrisches Rauschen werden eliminiert
Abscheidepumpen werden aus strahlungstoleranten Materialien mit mehr als 108 Gray hergestellt. Auch Steckverbinder und Kabel sind aus strahlungsbeständigen Materialien für jahrelangen Dauerbetrieb gefertigt
ohne besondere Berücksichtigung können Abscheidepumpen auf 250 °C ausgeheizt werden. Das Entfernen der Magnete ermöglicht heißere Backvorgänge bis zu 450 °C. Lange Heißbacken sind für jedes UHV-System von entscheidender Bedeutung
Capture-Pumpen erfordern praktisch keine Wartung und vermeiden kostspielige Vakuumereignisse, da sie von der Atmosphäre abgedichtet sind, was Zeit, Geld und Ressourcen spart
Die Anschaffungskosten sind in der Regel geringer als bei vergleichbaren Spezifikationen anderer Arten von Vakuumpumpen. Sie verbrauchen nur minimalen oder gar keinen Strom für einen jahrelangen kostengünstigen Betrieb
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MINI |
3S |
5S |
10S/SW |
10ST |
25S/SW |
25ST |
45S |
75S |
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Pumpgeschwindigkeit |
l/s |
0.2 |
2-3 |
4-5 |
8-10 |
8-10 |
15-20 |
15-20 |
30-40 |
40-75 |
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Ultimativer Druck |
Millibar |
1×10 -11 |
1×10 -11 |
1×10 -11 |
1×10 -11 |
1×10 -11 |
1×10 -11 |
1×10 -11 |
1×10 -11 |
1×10 -11 |
|
Startdruck |
Millibar |
≤1 × 10 –4 |
≤1 × 10 –4 |
≤1 × 10 –4 |
≤1 × 10 –3 |
≤1 × 10 –3 |
≤1 × 10 –3 |
≤1 × 10 –3 |
≤1 × 10 –3 |
≤1 × 10 –3 |
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Betriebsbacktemp |
°C |
95 |
450 |
250 |
250 |
80 |
250 |
100 |
250 |
250 |
|
max. Backtemperatur (Magnete entfernt) |
°C |
450 |
200 |
450 |
450 |
450 |
450 |
450 |
450 |
450 |
