Unser innovatives Sortiment trockenlaufender Pumpen bietet Ihnen Spitzentechnologie, die entwickelt wurde, um Ihre Halbleiter- und Elektronikfertigungsumgebung zu verbessern. Jede Baureihe wurde speziell entwickelt, um Ihnen Vorteile in Bezug auf Umweltleistung, Zuverlässigkeit unter rauen Bedingungen und Agilität bei leichten Anwendungen zu bieten.
Umweltfreundlicher und zuverlässiger bei geringeren Betriebskosten
100 - 6.000 m³/h Mehr Prozessfähigkeit 'Plug and Pump' Keine routinemäßige Wartung
110 / 930 m³/h 0,013 / 0,001 mbar Stecker und Pumpe <55dB(A) Keine routinemäßige Wartung
Trockenlaufende Pumpen der Edwards iXM Niedrigenergie-Serie können echte Prozessverbesserungen mit erhöhter Betriebszeit, geringerer Umweltbelastung und Kostenvorteilen für Ihre wichtigsten Anwendungen bringen.
Die trockenlaufende iXH-Pumpenreihe setzt neue Maßstäbe für raue Prozessfähigkeit, Zuverlässigkeit und niedrigere Betriebskosten.
Die iXL-Serie ist eine Reihe kompakter Trockenpumpen mit niedrigem Energieverbrauch für leichte Anwendungen wie Wafer-Handling, PVD und Messtechnik.
| Einheit | iXH100 | iXH610 | iXH1210 | |
| Spitzenpumpgeschwindigkeit | m³/Std | 100 | 665 | 1025 |
| Ultimativer Druck | Millibar | 0.02 | 0.005 | 0.005 |
| Macht am Ende | kW | 2.1 | 2.6 | 3.2 |
| Leistung im grünen Modus | kW | 0.045 | 0.045 | 0.045 |
| Lärm am Ende | dB(A) | 63 | 64 | 64 |
| Einheit | iXL120N | iXL1000N | |
| Spitzenpumpgeschwindigkeit | m³/Std | 110 | 930 |
| Ultimativer Druck | Millibar | 0.013 | 0.001 |
| Leistung bei Ultimate | kW | 0.55 | 1 |
| Leistung im grünen Modus | kW | 0.045 | 0.05 |
| Lärm bei Ultimate | dB(A) | < 55 | < 55 |
