Atlas™ von Edwards bietet hervorragende Zuverlässigkeit, hervorragende Pulverhandhabung und Korrosionsbeständigkeit und bietet eine Minderungsleistung für die Halbleiter-, Flachbildschirm-, Solar- und MOCVD-Industrie.
Atlas-Minderungstechnologie: eine Reihe von Lösungen zur Verbrennungsgasminderung – speziell für Ihren Prozess:
Atlas™-Systeme haben im Vergleich zu Gasminderungsgeräten der vorherigen Generation einen geringen Kraftstoffverbrauch. Wir verwenden die bewährte Alzeta™ Brennkammertechnologie mit Innenfeuerung, um deutlich reduzierte Betriebskosten zu erreichen. Mit einem bis sechs Einlässen und einer Reihe von Optionen, einschließlich eines Temperaturmanagementsystems (TMS), können Atlas-Systeme eine Durchflusskapazität von bis zu 1.200 slm behandeln. Sie sind so konzipiert, dass sie einfach zu bedienen sind und eine effizientere Wartung ermöglichen.
Die nach innen gefeuerte Brennkammer wird von den meisten großen Halbleiterherstellern verwendet und ist seit 1994 zu einem weltweiten Standard in der Gasminderung geworden.
Unsere einzigartige Verbrennungstechnologie arbeitet mit einer gleichmäßigen Verbrennungstemperatur. Dies gewährleistet sehr geringe Hintergrundemissionen, und der Gaseinstrom verhindert den Kontakt des Prozessmaterials mit den Kammerwänden, wodurch die Verstopfung durch Feststoffe minimiert wird. Die exklusive Zusammensetzung des Brennkammermaterials gewährleistet eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit und trägt dazu bei, dem Atlas eine unvergleichliche Zuverlässigkeit und Sicherheit zu verleihen.
In unserem hochmodernen Umweltinnovationszentrum verfügen wir über prozessoptimierte Lösungen für herausragende Leistung, die sich in der Praxis bewährt haben und von Dritten verifiziert wurden. Minderungs-DREs gehen in der Regel über die globale und lokale Gesetzgebung hinaus:
Mit einer umfangreichen Installationsbasis, einem beispiellosen globalen Anwendungsteam und Serviceunterstützung können wir die beste Lösung für Ihre Prozessanforderungen anbieten. Setzen Sie sich mit unserem Team in Verbindung und wir können gemeinsam an der ultimativen Lösung arbeiten.
