Atlas

Performance de réduction inégalée

Atlas™ d’Edwards offre une fiabilité exceptionnelle, une excellente manipulation des poudres et une résistance à la corrosion, offrant des performances de réduction pour les industries des semi-conducteurs, des écrans plats, du solaire et des MOCVD.

Atlas offre des performances de réduction inégalées

Technologie de réduction Atlas : une gamme de solutions de réduction des gaz de combustion – spécifiques à votre procédé :

Les systèmes Atlas™ ont une faible consommation de carburant par rapport aux dispositifs de réduction de gaz de la génération précédente. Nous utilisons la technologie éprouvée de chambre de combustion à combustion interne Alzeta™ pour réduire considérablement le coût de possession. Avec une à six entrées avec un certain nombre d’options, y compris un système de gestion de la température (TMS), les systèmes Atlas peuvent traiter une capacité de débit allant jusqu’à 1 200 slm. Ils sont conçus pour être faciles à utiliser et permettre une maintenance plus efficace.

La technologie de combustion interne d'Edwards

Utilisée par la plupart des principaux fabricants de semi-conducteurs, la chambre de combustion à combustion interne est devenue une norme mondiale en matière de réduction des gaz depuis 1994.

Notre technologie de combustion unique fonctionne avec une température de combustion uniforme. Cela garantit des émissions de fond très faibles et le flux de gaz vers l’intérieur empêche le contact du matériau de traitement avec les parois de la chambre, ce qui minimise le blocage par les solides. La composition exclusive du matériau de la chambre de combustion assure une résistance supérieure à la corrosion et contribue à fournir à l’Atlas une fiabilité et une sécurité inégalées.

Dans notre centre d’innovation environnementale à la pointe de la technologie, nous disposons de solutions adaptées aux processus pour des performances exceptionnelles, éprouvées sur le terrain et vérifiées par des tiers. Les DRE d’abattement vont généralement au-delà de la législation mondiale et locale :

Avec une base d’installation étendue, une équipe d’applications mondiales et un support de service inégalés, nous pouvons offrir la meilleure solution conçue pour vos besoins de processus. Contactez notre équipe et nous pouvons travailler ensemble pour la résolution ultime.