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iTrap® Prozessgasanalysatoren

Prozessgasanalysatoren

iTrap® ist ein kompaktes, hochempfindliches Ionenfallen-Fourier-Transformations-Massenspektrometer. Es ist ein ideales Werkzeug für die Prozessanalyse und Inline-Prozesskontrolle.

Edwards Process Gas Analyzer – Echtzeit-Prozesskontrolle für Halbleiteranwendungen

Es kann in F&E- und Produktionsumgebungen eingesetzt werden. iTrap unterstützt Sie zuverlässig bei der Erkennung kleinster Spuren von Reaktionsnebenprodukten oder Verunreinigungen, es hilft Ihnen, die Wirksamkeit von Reinigungen zu untersuchen und den Kammerzustand zu analysieren. Ein Massenspektrum wird nahezu in Echtzeit gemessen, und Sie können sehr kleine Mengen von Molekülen in Ihrer Prozesskammer verfolgen. iTrap ist ein leistungsstarkes Werkzeug in den Händen eines Forschers oder Prozessentwicklungsingenieurs und kann auch als intelligenter Sensor verwendet werden, der von anderen Prozesswerkzeuggeräten integriert und gesteuert wird.

Leistungen

Edwards iTrap überzeugt durch: