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Analyseurs de gaz de procédé iTrap®

Analyseurs de gaz de procédé

iTrap® est un spectromètre de masse à transformée de Fourier à piège à ions compact et très sensible. C’est un outil idéal pour l’analyse de processus et le contrôle de processus en ligne.

Analyseur de gaz de procédé Edwards - Contrôle de procédé en temps réel pour les applications de semi-conducteurs

Il peut être utilisé dans des environnements de R&D et de production. iTrap vous aide de manière fiable à détecter les plus petites traces de sous-produits de réaction ou de contamination, il vous aide à étudier l’efficacité des nettoyages et à analyser l’état de la chambre. Un spectre de masse est mesuré en temps quasi réel et vous pouvez tracer de très petites quantités de molécules dans votre chambre de traitement. iTrap est un outil puissant entre les mains d’un chercheur ou d’un ingénieur en développement de processus et peut également être utilisé comme capteur intelligent intégré et contrôlé par d’autres équipements d’outils de processus.

Avantages

Edwards iTrap convainc par :