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Kompressoren

Vakuum verbessern

Edwards CTI-Cryogenics bietet eine Auswahl an Kompressoren an, die für eine optimale Leistung mit integrierten Kryopumpen, Cryo-Torr-Kryopumen und/oder integrierten Wasserpumpen ausgelegt sind.

Ein integrierter Kryopumpen-Frequenzwandler gewährleistet maximale Kryopumpenleistung sowohl bei 50- als auch bei 60-Hz-Anwendungen für alle Vakuumpumpen von Edwards.

Edwards CTI-Cryogenics-Reihe von Kompressoren

8200 Kompressor

  • Dieser Kompressor wurde entwickelt, um eine optimale Leistung mit integrierten Kryopumpen, integrierten Wasserpumpen und Kryo-Torr-Kryopumpen zu bieten, und unterstützt alle Pumpen mit einer Größe von bis zu acht Zoll. Da der 8200 auf Flexibilität ausgelegt ist, können Sie den Kompressor dort aufstellen, wo es für Ihren Systembetrieb am bequemsten ist.
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9600 Kompressor

  • Dieser Kompressor wurde ausdrücklich für eine lange Lebensdauer, hohe Zuverlässigkeit und Benutzerfreundlichkeit entwickelt und bietet eine hervorragende Leistung mit allen Cryo-Torr Kryopumpen, On-Board-Kryopumen, On-Board-Wasserpumpen und On-Board-TurboPlus-Vakuumpumpen. Der 9600 unterstützt sowohl Einzel- als auch Gruppenpumpenkonfigurationen und ist mit CTI-Cryogenics-Pumpinstallationen weltweit kompatibel.
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9700A Kompressor

  • Mit erhöhter Heliumleistung ist der Kompressor 9700A ideal für den Betrieb mehrerer Kryopumpen. In vielen Anwendungen mit mehreren Kryopumpen und Wasserpumpen bietet ein 9700A-Kompressor eine einzige Kompressorlösung. Der 9700A-Kompressor, der den Stromverbrauch, die Wasserverteilung und den Platzbedarf im Vergleich zu Anwendungen mit mehreren Kompressoren reduziert, ist mit Cryo-Torr und integrierten Kryopumpen kompatibel.
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IS-Kompressoren

  • IS-1000 Compressor – intelligente, hocheffiziente Kompressortechnologie für integrierte IS-Kryopumpen. Der IS-1000-Kompressor unterstützt bis zu sechs On-Board-IS-8F-Kryopumen auf der gleichen Stellfläche wie ein 9600-Kompressor. IS-2000V-Kompressor – liefert den niedrigsten Stromverbrauch in allen Betriebsphasen durch die Kombination aus höherem Druck, Rotationstechnologie und anpassungsfähiger Heliumzufuhr in Übereinstimmung mit den SEMI S-23-Zielen. Der IS-2000V ersetzt zwei On-Board IS-1000 Kompressoren. Dieser Heliumkompressor mit hoher Kapazität wurde entwickelt, um On-Board-IS-Cryopump-Anwendungen zu unterstützen. Ein integrierter Kryopumpen-Leistungsfrequenzwandler gewährleistet maximale Kryopumpenleistung sowohl in 50- als auch in 60-Hz-Anwendungen.
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Edwards

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