Startseite > Produkte > Vakuumpumpen für hohe Anforderungen > Nicht verdampfbare Getterpumpen (NEG).

Nicht verdampfbare Getterpumpen (NEG).

UVH-XVH

Sind reaktive Metalle, die auf feste Substrate gepresst oder zu Scheiben gesintert wurden. Es hat sich herausgestellt, dass eine bestimmte Kombination aus Zirkonium, Vanadium und Eisen am besten für HV- und UHV-Umgebungen geeignet ist. Die verwendete Materialmenge steuert die Geschwindigkeit und Kapazität der NEG-Pumpe, liegt jedoch typischerweise zwischen 55 und 412 l/s und einer Kapazität zwischen 630 und 3600 Torr l/s. Wenn NEGs mit Gasen gesättigt werden, können sie reaktiviert werden, ohne in die Atmosphäre abgelassen zu werden.