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Pompes getters non évaporables (NEG)

UVH-XVH

Sont des métaux réactifs qui ont été pressés sur des substrats solides ou frittés en disques. Une combinaison spécifique de zirconium, de vanadium et de fer s’est avérée la plus efficace pour les environnements HV et UHV. La quantité de matériau utilisé contrôle la vitesse et la capacité de la pompe NEG, mais varie généralement de 55 à 412 l/s et la capacité de 630 à 3600 Torr l/s. Au fur et à mesure que les NEG deviennent saturés de gaz, ils peuvent être réactivés sans évacuation dans l’atmosphère.