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Spectra

Konkurrenzlose Leistung bei der Emissionsminderung

Das Spectra-Abgasmanagementsystem ist eine kostengünstige, zuverlässige und leistungsstarke Abgasreinigungslösung für die neueste Generation von Flachbildschirmen (FPD) und Solarzellen-Fertigungsprozessen.

Spectra erfüllt hohe Leistung mit Umweltbewusstsein

Minderung

  • Einzigartige 4-stufige Verbrennungstechnologie
  • Effiziente SiH4-Abscheidung
  • Hohe H2-Durchflussminderungskapazität
  • Hervorragendes Management hoher NF3 / F2-Flüsse
  • Hohe NH3-Minderungskapazität
  • Modularer Aufbau von Minderung und Partikelmanagement
  • 80 % Pulverentfernungseffizienz

Saure Gaswäsche

  • Integrierter Nasswäscher
  • Wasserumwälzeinheit zur Optimierung des Wasserverbrauchs

Pulverfang

Spectra ZW2 – wassergekühlte Abluftreinigung mit Partikelentfernung

  • Modularer Nass-Elektrofilter (WESP)
  • Entfernung von 99 % Partikeln
  • Hohe Handhabungsfähigkeit für Pulverladungen
  • Niedrige Betriebskosten im Vergleich zu alternativen Lösungen

Offizieller Schweizer Distributor von

Edwards

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