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Spectra

Performance de réduction inégalée

Le système de gestion des gaz d’échappement Spectra est une solution de réduction économique, fiable et performante pour la dernière génération de processus de fabrication d’écrans plats (FPD) et de cellules solaires.

Spectra rencontre la haute performance avec une conscience environnementale

Réduction

  • Technologie de combustion unique en 4 étapes
  • Réduction efficace du SiH4
  • Grande capacité d'abattement des flux H2
  • Excellente gestion des hauts débits de NF3/F2
  • Grande capacité de réduction du NH3
  • Conception modulaire de l'abattement et de la gestion des particules
  • Efficacité d'élimination de la poudre de 80 %

Épuration des gaz acides

  • Épurateur humide intégré
  • Unité de recirculation d'eau pour optimiser la consommation d'eau

Capture de poudre

Spectra ZW2 – réduction refroidie à l’eau avec élimination des particules

  • Précipitateur électrostatique humide modulaire (WESP)
  • Élimination de 99 % des particules
  • Capacité élevée de manipulation de charge de poudre
  • Faible coût de possession par rapport aux solutions alternatives

Distributeur officiel suisse de

edwards

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