Betrieb durch Erhitzen eines Titanfilaments und Sublimieren (Umwandeln von der festen in die Gasphase) von Titanmolekülen auf einer Oberfläche. Sublimierte Titanmoleküle stehen dann zur Verfügung, um mit reaktiven Gasen wie Sauerstoff und Stickstoff chemisch zu reagieren und Wasserstoff zu dissoziieren und zu diffundieren. TSPs können ab 10<sup>-5</sup> bis 10<sup>-12</sup> mbar und haben ein Saugvermögen von über 10.000 l/s Wasserstoff.
TSPs können von 10-5 bis 10-12 mbar betrieben werden und haben Pumpgeschwindigkeiten von über 10.000 m3/h Wasserstoff.
Kann unabhängig oder in Kombination mit Ionenpumpen verwendet werden, um reaktive Gase aus der Vakuumumgebung zu entfernen
Alle TSP-Komponenten sind bis 400°C ausheizbar
Titan-Sublimationspumpen (TSPs) werden häufig in Kombination mit Ionenpumpen oder unabhängig voneinander verwendet, um reaktive Gase aus der Vakuumumgebung zu entfernen.
In Kombination mit einer Ionenpumpe ermöglicht der TSP niedrige Enddrücke in kürzerer Zeit. Alle TSP-Komponenten sind bis 400°C ausheizbar.
TSPs arbeiten durch Erhitzen eines Titanfilaments und Sublimieren (Umwandeln von der festen in die Gasphase) von Titanmolekülen auf eine Oberfläche. Sublimierte Titanmoleküle stehen dann zur Verfügung, um mit reaktiven Gasen wie Sauerstoff und Stickstoff chemisch zu reagieren und Wasserstoff zu dissoziieren und zu diffundieren. TSPs können von 10-5 bis 10-12 mbar betrieben werden und haben Pumpgeschwindigkeiten von über 10.000 m3h-1 Wasserstoff.
Capture-Pumpen haben keine beweglichen Teile. Vibrationen von beweglichen Teilen und elektrisches Rauschen werden eliminiert
Abscheidepumpen werden aus strahlungstoleranten Materialien mit mehr als 108 Gray hergestellt. Auch Steckverbinder und Kabel sind aus strahlungsbeständigen Materialien für jahrelangen Dauerbetrieb gefertigt
ohne besondere Berücksichtigung können Abscheidepumpen auf 250 °C ausgeheizt werden. Das Entfernen der Magnete ermöglicht heißere Backvorgänge bis zu 450 °C. Lange Heißbacken sind für jedes UHV-System von entscheidender Bedeutung
Capture-Pumpen erfordern praktisch keine Wartung und vermeiden kostspielige Vakuumereignisse, da sie von der Atmosphäre abgedichtet sind, was Zeit, Geld und Ressourcen spart
Die Anschaffungskosten sind in der Regel geringer als bei vergleichbaren Spezifikationen anderer Arten von Vakuumpumpen. Sie verbrauchen nur minimalen oder gar keinen Strom für einen jahrelangen kostengünstigen Betrieb
