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ATS500

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Box-Beschichtungssysteme

ATS500

  • Quellen für Verdunstungswiderstand
  • Elektronenstrahlquellen für Hochgeschwindigkeitsverdampfung und Lift-off-Prozesse
  • Langstrahlunterstützung für optische Anwendungen oder Substratreinigung
  • Kombinierte Systeme, die zwei oder mehr der oben genannten Eigenschaften aufweisen
  • Temperaturgesteuerte Verdampfungsquellen für OLED und organische photovoltaische Anwendungen

Eigenschaften und Vorteile

  • Flexibilität - eine breite Palette von Prozessen in einem einzigen Systempaket
  • Ionenstrahlverfahren - für optische Beschichtungsanwendungen
  • Kosten - ATS 500 ist als erschwingliches, vielseitiges System konzipiert

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2300 La Chaux-de-Fonds

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