HHV BT150-300 Tisch-Sputterbeschichtungsanlagen – ≡ Plasmadiam® – Swiss Vacuum Solutions

Beschichtungssysteme

HHV BT150-300 Tisch-Sputterbeschichtungsanlagen

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BT150-300

HHV Tisch-Sputter-Beschichtungsanlagen

Neue Tischgeräte für die EM-Probenvorbereitung und F&E
Touchscreen-Steuerungssystem für die automatische Probenbeschichtung
Große Auswahl an Probenbühnen
Integrierte Überwachung der Schichtdicke
Einfache Zieländerung

Optionen verarbeiten

Sputtern von Metallen für SEM
Aufdampfen von Kohlenstofffasern für TEM
Kohlestäbchenverdampfung für TEM
Widerstand Verdampfung
Glimmentladung
Wassergekühlter SEM-Tisch mit Bias-Funktion
Drehtische für SEM-Stichproben
Drehtische für Wafersubstrate
Integrierte Schichtdickenüberwachung

Kontrollfunktionen

Vollautomatische Steuerung über den Touchscreen
Vom Benutzer editierbare Prozesskontrakte
Mit Speicher für 30 Rezepte
Automatische Erkennung von Prozesszubehör
Optionen für Kreisel- und Turbopumpen