Das AV5A ist aus einer Aluminiumlegierung gefertigt. Es hat einen Drehknopf, der an einem schraubenbetätigten Stößel befestigt ist: Drehen Sie den Drehknopf im Uhrzeigersinn, um das Ventil zu schließen. Ein Nitril-O-Ring dichtet den Stößel am Ventilkörper ab.
Das Ventil kann direkt angeschlossen, in der Rohrleitung befestigt oder auf einer Platte montiert werden und wird mit der mitgelieferten Edwards SC5 Kupplung an das Vakuumsystem angeschlossen.
Das AV10K wird auf die gleiche Weise wie das AV5A hergestellt und funktioniert auch so, aber es wird anders angeschlossen. Dieses Ventil ist nur für die Rohrleitung geeignet und wird mit einem NW10-Anschluss an das Vakuumsystem angeschlossen.
BRV-Ventile mit ISO NW Schrupp- und Vorpumpenanschlüssen können manuell oder pneumatisch betätigt werden. Sie vereinen die Funktion von separaten Rücklauf- und Durchgangsventilen in einer integrierten Einheit mit 3 Anschlüssen.
Ein flexibler Neoprenanschluss wird für den Vorlaufanschluss mitgeliefert. Die Anschlüsse der Vorpumpe und des Vorlaufs enden im entsprechenden NW-Anschluss.
Das IPVA10EK ist ein elektromagnetisch betätigtes Ventil, das für den automatischen Einlass von Luft oder Belüftungsgas in ein Vakuumsystem konzipiert ist. Das Ventil hat zwei Anschlüsse mit NW-Flanschen. Einer der Anschlüsse des Ventils ist mit dem Vakuumsystem verbunden, der andere Anschluss kann zur Atmosphäre offen gelassen oder an eine Entlüftungsgasversorgung angeschlossen werden.
Das Vakuumsystem ist von der Atmosphäre (oder der Entlüftungsgaszufuhr) durch ein Fluorelastomerpolster an der Basis des Ventilstempels isoliert, das gegen den Ventilkörper abdichtet.
Die QSB-Viertelschwenkventile sind kompakte, schnell wirkende Absperrventile mit hohem Leitwert. Die QSB-Ventile haben ein poliertes Edelstahlgehäuse mit ISO-Flansch und eine mit O-Ringen versehene Ventilplatte und Welle aus Fluorelastomer. Die O-Ring-Nut der Ventilplatte ist belüftet, um ein stabiles Hochvakuum aufrechtzuerhalten. Die O-Ringe und Lager der Ventilwelle sind mit Fomblin®-Fett geschmiert, um Gasausbrüche hinter den Wellendichtungen zu verhindern.
Dieses Ventil wird mit einer Co-Dichtung geliefert.
Das VIV-Vakuum-Isolierventil ist ein schnell wirkendes Hochvakuum-Isolierventil mit hohem Leitwert, das die Bewegung von Dampf oder Partikeln von der Vorpumpe in die Prozesskammer verhindert.
Wenn das VIV geschlossen ist, wird die Vorpumpe sicher belüftet. Das VIV schützt die Prozesskammer davor, entlüftet zu werden, wenn die Pumpe stoppt oder angehalten wird. Wenn die Vorvakuumpumpe wieder gestartet wird, öffnet sich das Ventil langsam, wenn der Druck im VIV gesunken ist, wodurch die Auswirkungen eines Druckstoßes minimiert werden.
Das VIV-Vakuum-Absperrventil ist für die Verwendung mit den kleinen trockenen Primärpumpen nXDS, XDS, nXLi und nXRi von Edwards vorgesehen.
Für Edwards Vorvakuumpumpen, die mit dem M8-Ventilanschluss oder dem 15-poligen D-Typ-Logikschnittstellenanschluss ausgestattet sind, empfehlen wir die Verwendung von 24-V-Gleichstromventilen und optionalen Zubehörkabeln oder VIV Link, da dies ein höheres Maß an Schutz bietet.
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