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TIC-Wagen

TIC-Wagen

Hochvakuum

Die TIC-Turbomolekularpumpstationen sind mit einem Saugvermögen von 85 l/s bis zu 400 l/s, einem TIC-Controller und einer ölgedichteten oder trockenen Vorpumpe erhältlich.

nEXT Turbomolekular-Pumpstationen (TIC-Wagen)

Alle Turbomolekularpumpstationen von Edwards werden mit einem TIC-Turbo und einer Instrumentensteuerung geliefert, die es ermöglichen:

Edwards TIC Turbomolekular-Pumpstationen

Alle unsere TIC-Turbomolekularpumpstationen sind mit nEXT-Turbomolekularpumpen ausgestattet, die bewährte Zuverlässigkeit und Wartungsfreundlichkeit für den Endbenutzer bieten. Die ölgedichteten Pumpen sind standardmäßig mit einem EMF-Nebelfilter ausgestattet und die nXDS-Trockenscroll-Pumpen verfügen standardmäßig über ein Absperrventil zwischen der Turbopumpe und der Vorpumpe.

Technische Daten

Einheit nEXT85 nEXT85 nEXT240 nEXT300 nEXT400
Einlassflansch NW40 ISO/CF63 ISO/CF100 ISO/CF100 ISO/CF160
Pumpendrehzahl für N2 l/s 47 84 240 300 400
Verdichtungsverhältnis für N2 >1×1011 >1×1011 >1×1011 >1×1011 >1×1011
Drehzahl der Vorvakuumpumpe 50 Hz (nass) m³/h 5 – 12 5 – 12 5 – 12 5 – 12 5 – 12
Drehzahl der Vorvakuumpumpe 50 Hz (trocken) m³/h 1.2 – 22 1.2 – 22 6 – 22 6 – 22 6 – 22
Ultimatives Vakuum mbar <5×10-10 <5×10-10 <5×10-10 <5×10-10 <5×10-10
Geräuschpegel bei Höchststand dB(A) <56 <56 <56 <56 <56
Controller TIC TIC TIC TIC TIC
Optionen für Vorvakuumpumpen nXDS / RV / XDD nXDS / RV / XDD nXDS / RV nXDS / RV nXDS / RV

S800

Kompakte harte PVD
Funktionsbeschichtung

Allgemeine Informationen

Beschichtungsarten

Testkammer

Anwendungen: Das angebotene Tischsystem ermöglicht das Erreichen und Aufrechterhalten eines Drucks, der einem O-Meter (Atmosphärendruck) entspricht, bis zu einer Höhe von 4000 Metern und darüber hinaus in einer Testkammer.

Atmosphärendruck-Simulator-Kammer

Hochvakuum-Pumpstände

Vakuumöfen backen, entgasen, erhitzen, trocknen und glühen Komponenten für die Elektronik-, Luft- und Raumfahrt- und Verteidigungsindustrie. Unsere Systeme sind in verschiedenen zylindrischen oder kubischen Konfigurationen erhältlich.

PLASMADIAM TURBOMOLEKULAR-PUMPSTATION:

Vakuum-Wärmebehandlungsofen

Wärmebehandlung zur Fixierung der Form der Spiralfeder. Die fixierende Wärmebehandlung wird unter den folgenden Bedingungen durchgeführt:

Vorteile von Vakuumöfen

Ultrahochvakuum-System Ausheizen

Vakuumöfen backen, entgasen, erhitzen, trocknen und glühen Komponenten für die Elektronik-, Luft- und Raumfahrt- und Verteidigungsindustrie. Unsere Systeme sind in verschiedenen zylindrischen oder kubischen Konfigurationen erhältlich.

Beispiel