Diese Kryokühler können verwendet werden, um Wasserdampf und andere kondensierbare Substanzen einzufangen, indem sie auf einer kalten Oberfläche wie einer Kryospule oder einem Chevron-Baffle eingefroren werden. MaxCool Cryochiller werden auch zum Kühlen und Erwärmen von Objekten wie elektrostatischen Chucks verwendet, die bei der Bearbeitung von Halbleiterwafern zum Einsatz kommen. Die verschiedenen Modelle in unserem Sortiment bieten eine Kühlleistung von 2.000, 2.500 oder 4.000 Watt.
Wasserdampf ist in der Regel die reaktivste Verunreinigung, die in Hochvakuumanlagen vorkommt. Mit unseren MaxCool Cryochillern können Sie eine Steigerung des Produktdurchsatzes in Ihrem bestehenden System von 20% bis 100% erwarten und die Qualität der Abscheidung verbessern.
Wenn Sie Ihr Vakuumsystem ergänzen, können die MaxCool Cryochiller die Abpumpzeiten drastisch reduzieren und den Produktdurchsatz erhöhen. Der MaxCool pumpt innerhalb weniger Minuten nach dem Start Wasserdampf ab und kann in weniger als vier Minuten abtauen, was eine echte Schnellzyklusfähigkeit bedeutet. Er verfügt außerdem über eine Option namens Rapid Cool to Cool, die die Wartezeit nach dem Abtauen eliminiert und es Ihrem System ermöglicht, mehr Produktionszyklen pro Schicht durchzuführen. Unsere MaxCool Cryochiller verwenden patentierte Polycold®-Kältemittelmischungen und arbeiten nach dem Prinzip des Meissner-Einschlusses. Wasserdampf wird durch Kondensation an einer kryogenisch gekühlten Oberfläche, der sogenannten Meissner-Spule, aufgefangen. Die Meissner-Spule (Kryospule) wird direkt in der Vakuumkammer montiert, so dass die Leitfähigkeit nicht durch Anschlüsse, Verteiler, Ventile und Ablenkungen eingeschränkt wird. Die Kryospule ist einfach zu installieren und kann an jedes System angepasst werden. Sie benötigt kein Hochvakuumventil.
| MaxCool 2000 | MaxCool 2500L | MaxCool 4000H | |
|---|---|---|---|
| Maximale Kühlleistung | 2,000 W | 2,500 W | 4,000 W |
| Temperatur bei maximaler Kühlleistung | -111 °C | -120 °C | -98 °C |
| Kälteste Temperatur | -142 °C | -145 °C | -133 °C |
| Ultimativer Betriebsdruck (25% des maximalen Saugvermögens) | 3E-9 torr | 8E-10 torr | 5E-8 torr |
| Typische Kühlfalle Fläche | 1.1 m2 | 1.4 m2 | 2.2 m2 |
| Maximale Wasserdampf-Pumpgeschwindigkeit aus einem typischen Kühlfallenbereich | 163.900 l/s | 208.600 l/s | 327.800 l/s |
| Konservative Maximale Kühlfalle Fläche* | 1.5 m2 | 2.0 m2 | 2.8 m2 |
| Stromverbrauch (Standby-Modus) | 5.5 kW | 11.4 kW | 12.0 kW |
| Stromverbrauch (Kühlmodus, typische Last) | 6.2 kW | 13,9 kW | 12,4 kW |
| Stromverbrauch (Kühlmodus, maximale Last) | 8.8 kW | 19.2 kW | 19.2 kW |
| Kühlwasserdurchfluss für 13 °C | 6,8 l/min | 15,1 l/min | 15,1 l/min |
| Kühlwasserdurchfluss für 18 °C | 9,1 l/min | 18,2 l/min | 18,2 l/min |
| Kühlwasserdurchfluss für 24 °C | 13,6 l/min | 27,3 l/min | 27,3 l/min |
| Kühlwasserdurchfluss für 29 °C | 27,6 l/min | 54,1 l/min | 54,1 l/min |
| Europäisch PED-konform | Ja | Ja | Ja |
| Ungiftige Kältemittel | Ja | Ja | Ja |
| Nicht entflammbare Kältemittel | Ja | Ja | Ja |
+41 (0)32 926 26 06
info@plasmadiam.com
Jambe-Ducommun 19 – 2400 Le Locle
