Ein patentiertes verteiltes Steuersystem überwacht und passt die einzelnen Elemente des Kryopumpensystems ständig an, um eine optimale systemweite Vakuumleistung für eine außergewöhnliche Prozesskonsistenz aufrechtzuerhalten. Die On-Board IS-Kryopumpen bieten die höchste Betriebszeit, die beste Produktivität und die niedrigsten Gesamtbetriebskosten aller heute erhältlichen Kryopumpensysteme. Unterstützt werden sie von Edwards reaktionsschnellem, weltweitem Service- und Support-Netzwerk.
Die On-Board® IS 320FX Kryopumpe wurde speziell für die Herausforderungen der heutigen Ionen-Implantat-Prozesse entwickelt. Sie bietet eine höhere Geschwindigkeit und Kapazität beim Pumpen von Wasserstoff und behält dabei die Qualität, Leistung und Zuverlässigkeit bei, die Sie gewohnt sind.
Die On-Board® IS XP Kryopumpe bietet eine höhere Kapazität für PVD-Anwendungen, um eine maximale Produktivität zu erreichen und gleichzeitig die Prozesstransparenz zu erhalten. Gleichzeitig profitiert sie von der bewährten Energieeffizienz, der gleichbleibenden Leistung und den niedrigen Betriebskosten, die Sie von der On-Board® IS gewohnt sind.
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