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On-Board® IS

On-Board® IS

Amélioration du vide

Les systèmes de cryopompes CTI-Cryogenics IS d’Edwards s’appuient sur une technologie innovante à haut rendement pour offrir des performances de vide et une efficacité énergétique inégalées.

Performances d'aspiration et efficacité énergétique inégalées

Un système de contrôle distribué breveté surveille et ajuste en permanence les éléments individuels du système de cryopompe afin de maintenir des performances de vide optimales à l’échelle du système pour une cohérence exceptionnelle du processus. Les cryopompes On-Board IS offrent le temps de fonctionnement le plus élevé, la meilleure productivité et le coût global de possession le plus bas de tous les systèmes de cryopompes disponibles aujourd’hui, soutenus par le réseau mondial de service et d’assistance très réactif d’Edwards.

Caractéristiques principales

Cryopompe IS 320FX

La cryopompe On-Board® IS 320FX, développée spécifiquement pour répondre aux défis des processus d’implants ioniques d’aujourd’hui, offre une vitesse et une capacité de pompage de l’hydrogène améliorées, tout en conservant la qualité, les performances et la fiabilité que vous attendez.

  • Spécifiquement conçu pour les applications d’implants ioniques
  • Optimisé pour le débit des outils
  • Technologie intelligente d’auto-ajustement
  • Coût de possession réduit
  • Augmentation du temps de fonctionnement

IS XP

La cryopompe On-Board® IS XP offre une capacité accrue pour les applications PVD afin d’atteindre une productivité maximale tout en maintenant la transparence du processus. En même temps, elle tire parti de l’efficacité énergétique éprouvée, des performances constantes et du faible coût de possession que vous attendez de la pompe On-Board® IS.

  • Fournit des capacités supplémentaires pour l’amélioration future des processus
  • Coût de possession réduit
  • Temps de fonctionnement accru
  • Technologie intelligente « d’auto-ajustement » pour des performances de vide constantes

S800

Revêtement fonctionnel compact et dur PVD

Informations générales

Types de revêtement

Chambre d'essai

Applications : Le système de table proposé permet d’atteindre et de maintenir des pressions équivalentes à un mètre « O » (pression atmosphérique) jusqu’à des niveaux élevés tels que 4000 mètres et au-delà, à l’intérieur d’une chambre d’essai.

Chambre de simulation de la pression atmosphérique

Stations de pompage à vide poussé

Les étuves à vide permettent de cuire, dégazer, chauffer, sécher et recuire des composants pour les industries de l’électronique, de l’aérospatiale et de la défense. Nos systèmes sont disponibles en plusieurs configurations cylindriques ou cubiques.

STATION DE POMPAGE TURBOMOLÉCULAIRE PLASMADIAM :

Four de traitement thermique sous vide

Traitement thermique pour fixer la forme du ressort spiral. Le traitement thermique de fixation est effectué dans les conditions suivantes :

Avantages des fours à vide

Système à ultravide Bake Out

Les étuves à vide permettent de cuire, dégazer, chauffer, sécher et recuire des composants pour les industries de l’électronique, de l’aérospatiale et de la défense. Nos systèmes sont disponibles en plusieurs configurations cylindriques ou cubiques.

Exemple