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On-Board® IS

On-Board® IS

Verbesserung des Vakuums

Die Kryopumpensysteme von Edwards CTI-Cryogenics IS nutzen innovative, hocheffiziente Technologie, um eine unvergleichliche Vakuumleistung und Energieeffizienz zu erzielen.

Unerreichte Vakuumleistung und Energieeffizienz

Ein patentiertes verteiltes Steuersystem überwacht und passt die einzelnen Elemente des Kryopumpensystems ständig an, um eine optimale systemweite Vakuumleistung für eine außergewöhnliche Prozesskonsistenz aufrechtzuerhalten. Die On-Board IS-Kryopumpen bieten die höchste Betriebszeit, die beste Produktivität und die niedrigsten Gesamtbetriebskosten aller heute erhältlichen Kryopumpensysteme. Unterstützt werden sie von Edwards reaktionsschnellem, weltweitem Service- und Support-Netzwerk.

Wesentliche Merkmale

IS 320FX Kryopumpe

Die On-Board® IS 320FX Kryopumpe wurde speziell für die Herausforderungen der heutigen Ionen-Implantat-Prozesse entwickelt. Sie bietet eine höhere Geschwindigkeit und Kapazität beim Pumpen von Wasserstoff und behält dabei die Qualität, Leistung und Zuverlässigkeit bei, die Sie gewohnt sind.

  • Speziell für Ionenimplantat-Anwendungen entwickelt
  • Optimiert für den Werkzeugdurchsatz
  • Intelligente „selbsteinstellende“ Technologie
  • Geringere Betriebskosten
  • Erhöhte Betriebszeit

IS XP

Die On-Board® IS XP Kryopumpe bietet eine höhere Kapazität für PVD-Anwendungen, um eine maximale Produktivität zu erreichen und gleichzeitig die Prozesstransparenz zu erhalten. Gleichzeitig profitiert sie von der bewährten Energieeffizienz, der gleichbleibenden Leistung und den niedrigen Betriebskosten, die Sie von der On-Board® IS gewohnt sind.

  • Bietet einen Kapazitäts-Overhead für zukünftige Prozessverbesserungen
  • Geringere Betriebskosten
  • Erhöhte Betriebszeit
  • Intelligente „selbsteinstellende“ Technologie für konstante Vakuumleistung

S800

Kompakte harte PVD
Funktionsbeschichtung

Allgemeine Informationen

Beschichtungsarten

Testkammer

Anwendungen: Das angebotene Tischsystem ermöglicht das Erreichen und Aufrechterhalten eines Drucks, der einem O-Meter (Atmosphärendruck) entspricht, bis zu einer Höhe von 4000 Metern und darüber hinaus in einer Testkammer.

Atmosphärendruck-Simulator-Kammer

Hochvakuum-Pumpstände

Vakuumöfen backen, entgasen, erhitzen, trocknen und glühen Komponenten für die Elektronik-, Luft- und Raumfahrt- und Verteidigungsindustrie. Unsere Systeme sind in verschiedenen zylindrischen oder kubischen Konfigurationen erhältlich.

PLASMADIAM TURBOMOLEKULAR-PUMPSTATION:

Vakuum-Wärmebehandlungsofen

Wärmebehandlung zur Fixierung der Form der Spiralfeder. Die fixierende Wärmebehandlung wird unter den folgenden Bedingungen durchgeführt:

Vorteile von Vakuumöfen

Ultrahochvakuum-System Ausheizen

Vakuumöfen backen, entgasen, erhitzen, trocknen und glühen Komponenten für die Elektronik-, Luft- und Raumfahrt- und Verteidigungsindustrie. Unsere Systeme sind in verschiedenen zylindrischen oder kubischen Konfigurationen erhältlich.

Beispiel