Edwards Polycold® MaxCool-Kryochiller sind kryogene Kühlsysteme mit geschlossenem Kreislauf, die effektiv Wasserdampf auffangen, der 65 % bis 95 % des Restgases in Hochvakuumsystemen ausmacht.
MaxCool-Kryochiller sind das kostengünstigste Upgrade, das Sie jedem diffusionsgepumpten, turbogepumpten oder heliumgepumpten System hinzufügen können.
Diese Kryokühler können verwendet werden, um Wasserdampf und andere kondensierbare Substanzen einzufangen, indem sie auf einer kalten Oberfläche wie einer Kryospule oder einem Chevron-Baffle gefrieren. MaxCool-Kryochiller werden auch zum Kühlen und Erhitzen von Objekten wie elektrostatischen Chucks verwendet, die bei der Halbleiterwaferverarbeitung verwendet werden. Die verschiedenen Modelle in unserem Sortiment bieten 2.000, 2.500 oder 4.000 Watt Kühlleistung.
Wasserdampf ist typischerweise die reaktivste Verunreinigung, die in Hochvakuumsystemen vorhanden ist. Mit unseren MaxCool-Kryochillern können Sie eine Steigerung des Produktdurchsatzes in Ihrem bestehenden System von 20 % bis 100 % erwarten und die Qualität der Abscheidung verbessern.
Wenn sie zu Ihrem Vakuumsystem hinzugefügt werden, können MaxCool-Kryochiller die Abpumpzeiten drastisch verkürzen und den Produktdurchsatz erhöhen. Der MaxCool pumpt Wasserdampf innerhalb von Minuten nach dem Start und kann in weniger als vier Minuten auftauen, was eine echte Schnellzyklusfähigkeit bietet. Es hat auch eine Option namens Rapid Cool to Cool, die die Wartezeit nach dem Abtauen eliminiert und es Ihrem System ermöglicht, mehr Produktionszyklen pro Schicht durchzuführen. Unter Verwendung patentierter Polycold®-Kältemittelmischungen arbeiten unsere MaxCool-Kryochiller nach dem Prinzip der Meissner-Falle. Wasserdampf wird durch Kondensation auf einer kryogen gekühlten Oberfläche, einer sogenannten Meissner-Spule, eingefangen. Die Meissner (Kryospule) ist direkt in der Vakuumkammer montiert, sodass die Leitfähigkeit nicht durch Anschlüsse, Verteiler, Ventile und Leitbleche begrenzt wird. Die Kryospule ist einfach zu installieren und kann an jedes System angepasst werden. Es benötigt kein Hochvakuumventil.
| Max Cool 2000 | MaxCool 2500L | MaxCool 4000H | |
|---|---|---|---|
| Maximale Kühlleistung | 2.000 W | 2.500 W | 4.000 W |
| Temperatur bei maximaler Kühlleistung | -111 °C | -120 °C | -98 Grad |
| Kälteste Temperatur | -142 °C | -145 °C | -133 °C |
| Endgültiger Betriebsdruck (25 % der maximalen Pumpgeschwindigkeit) | 3E-9 Torr | 8E-10 Torr | 5E-8 Torr |
| Typischer Kühlfallenbereich | 1,1 m2 | 1,4 m2 | 2,2 m2 |
| Maximale Wasserdampfpumpgeschwindigkeit aus einem typischen Kühlfallenbereich | 163.900 l/s | 208.600 l/s | 327.800 l/s |
| Konservative maximale Kühlfallenfläche* | 1,5 m2 | 2,0 m2 | 2,8 m2 |
| Stromverbrauch (Standby-Modus) | 5,5 kW | 11,4 kW | 12,0 kW |
| Stromverbrauch (Kühlmodus, typische Last) | 6,2 kW | 13,9 kW | 12,4 kW |
| Stromverbrauch (Kühlmodus, maximale Last) | 8,8 kW | 19,2 kW | 19,2 kW |
| Kühlwasservorlauf für 13 °C | 6,8 l/Min | 15,1 l/Min | 15,1 l/Min |
| Kühlwasservorlauf für 18 °C | 9,1 l/Min | 18,2 l/Min | 18,2 l/Min |
| Kühlwasservorlauf für 24 °C | 13,6 l/Min | 27,3 l/Min | 27,3 l/Min |
| Kühlwasservorlauf für 29 °C | 27,6 l/Min | 54,1 l/min | 54,1 l/min |
| Europäische PED-konform | ja | ja | ja |
| Ungiftige Kältemittel | ja | ja | ja |
| Nicht brennbare Kältemittel | ja | ja | ja |
