Um eine optimale Produktivität in einem breiten Spektrum von Vakuumprozessanwendungen zu erreichen, ist eine hohe Wasserpumpgeschwindigkeit erforderlich.
Edwards CTI-Cryogenics On-Board® IS Einstufige Kryopumpen erhöhen die Wasserpumpgeschwindigkeit von Turbopumpen erheblich und ermöglichen erhebliche Fortschritte beim Systemdurchsatz und der Prozessproduktivität, unabhängig davon, ob sie in Transfer-, Inline- oder Prozesskammeranwendungen eingesetzt werden.
Eine hohe Wasserpumpgeschwindigkeit verbessert auch die Qualität des Endprodukts in vielen Vakuumprozessen, verbessert die Gesamtausbeute und senkt sowohl den Abfall als auch die Produktionskosten erheblich. On-Board® IS Einstufige Kryopumpen werden in einer Vielzahl von Konfigurationen entwickelt, um die meisten Anwendungsanforderungen zu erfüllen. Sie sind sowohl in Inline- als auch In-situ-Konfigurationen in einer Vielzahl von Größen erhältlich.
