Edwards CTI-Cryogenics IS-Kryopumpensysteme nutzen innovative, hocheffiziente Technologie, um eine beispiellose Vakuumleistung und Energieeffizienz zu bieten.
Ein patentiertes verteiltes Steuersystem überwacht und passt ständig einzelne Elemente des Kryopumpensystems an, um eine optimale systemweite Vakuumleistung für eine außergewöhnliche Prozesskonsistenz aufrechtzuerhalten. On-Board-IS-Kryopumpen bieten die höchste Betriebszeit, beste Produktivität und die niedrigsten Gesamtbetriebskosten aller heute erhältlichen Kryopumpensysteme, unterstützt durch das äußerst reaktionsschnelle globale Service- und Support-Netzwerk von Edwards.
Die Kryopumpe On-Board® IS 320FX, die speziell entwickelt wurde, um den Herausforderungen der heutigen Ionenimplantationsprozesse zu begegnen, bietet eine verbesserte Pumpgeschwindigkeit und Kapazität für Wasserstoff, während sie die Qualität, Leistung und Zuverlässigkeit beibehält, die Sie erwarten.
Die On-Board® IS XP Kryopumpe bietet eine erhöhte Kapazität für PVD-Anwendungen, um maximale Produktivität zu erreichen und gleichzeitig die Prozesstransparenz aufrechtzuerhalten. Gleichzeitig nutzt es die bewährte Energieeffizienz, konsistente Leistung und die niedrigen Betriebskosten, die Sie von On-Board® IS gewohnt sind.
