Das STP hat einen marktführenden Ruf für Qualität und Zuverlässigkeit. Erhältlich in vier verschiedenen Bereichen – Ultrahochvakuum; Hoher Durchsatz; Extrem niedrige Vibration und integrierte Steuerung – sie wird von vielen als der Rolls Royce der Turbomolekularpumpen angesehen.
Große Auswahl an Größen, Einlassflanschen und Sonderausführungen
Industrie- und Laborkunden weltweit vertrauen und verlassen sich auf das STP
Außergewöhnliche 5-Achsen-Vollmagnetschwebebahn-Pumpenleistung ohne Kohlenwasserstoffschmierung
Automatische Auswuchtsysteme, korrosionsbeständige Ausführungen, Stromausfallschutz
zwischen den Wartungen können mit diesen Pumpen erreicht werden. Es ist keine routinemäßige oder vorbeugende Wartung erforderlich
Die Advanced-Serie bietet einen hohen Durchsatz, perfekt für Ihre Halbleiterätz- und CVD-Prozesse:
Die Ultrahochvakuum-Low-Vibration-Version enthält alle Merkmale der Ultrahochvakuum-Serie sowie einen eingebauten Vibrationsisolator, um Ihnen eine ultraniedrige Vibrationsleistung zu bieten.
Diese All-in-One-Turbopumpenlösung eliminiert das herkömmlich erforderliche Verbindungskabel und Gestell:
Die Ultra-Hochvakuum-Serie bietet unübertroffene Zuverlässigkeit, Leistung, Sauberkeit und klassenbeste niedrige Vibrationswerte:
| Einheit | iX455 | iXR1606 | iXR1606 | iS2207 | iS2207 | iXA2206A | iXA3306C | iXA3306C | iXA4506C | |
| Einlassflansch* | ||||||||||
| ISO | 100.000/160.000 | 160F | 200F/250F | 200F | 250F | 250F | 250F | 320F | 320F | |
| ICF | – | 203 | 253/305 | 253 | 305 | 305 | 305 | 356 | – | |
| Pumpgeschwindigkeit | ||||||||||
| N2 | l/s | 300/450 | 1000 | 1600 | 1850 | 2200 | 2200 | 2650 | 3200 | 4000 |
| H2 | l/s | 300/460 | 800/ | 1200 | 700 | 750 | 1700 | 2050 | 2300 | 2700 |
| Ar | l/s | – | – | – | 1650 | 2000 | 1900 | 2300 | 2800 | 3400 |
| Kompressionsrate | ||||||||||
| N2 | >10 8 | >10 8 | >10 8 | >10 8 | >10 8 | >10 8 | >10 8 | >10 8 | >10 8 | |
| H2 | >1×10 4 | >1×10 4 | >1×10 3 | >1×10 3 | >1×10 3 | 1,0×10 4 | 2×10 3 | 2×10 3 | 1×10 3 | |
| Ultimativer Druck | Pa | 6,5 x 10 -6 | 6,5 x 10 -6 | 10 -7 | 10 -7 | 10 -7 | 10 -7 | 10 -7 | 10 -7 | 10 -7 |
