Gas-Reaktor-Kolonne (GRC)

Gas-Reaktor-Kolonne (GRC)

Unerreichte Emissionsminderungsleistung

Speziell entwickelt, um gefährliche Gase aus den Abgasen von Vakuumpumpen bei Halbleiterprozessen sicher zu entfernen.

Der GRC ist ein einzigartiger Heißbettreaktor, der toxische Gase chemisch zerstört. Er behandelt die größte Bandbreite und Mischung von Gasen in einem System, ohne neue Probleme bei der Abwasserentsorgung zu verursachen. Eine geschützte Mischung aus anorganischen Granulaten befindet sich in einer geschweißten Edelstahlpatrone. Diese wird durch Einsetzen in einen elektrischen Rohrheizkörper auf einer erhöhten Temperatur gehalten. Gefährliche Abgase, die in die Kartusche gelangen, werden chemisch vollständig umgesetzt und in stabile anorganische Salze umgewandelt.