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Colonne de réacteur à gaz (GRC)

Colonne de réacteur à gaz (GRC)

Réduction des émissions

Spécialement conçu pour éliminer en toute sécurité les gaz dangereux provenant des échappements des pompes à vide dans les procédés de fabrication des semi-conducteurs.

Le GRC est un réacteur à lit chaud unique qui détruit chimiquement les gaz toxiques. Il traite la plus large gamme et le plus grand mélange de gaz dans un seul système sans créer de nouveaux problèmes d’évacuation des effluents. Un mélange exclusif de granulés inorganiques est contenu dans une cartouche en acier inoxydable soudée. Celle-ci est maintenue à une température élevée par l’insertion dans un radiateur électrique tubulaire. Les gaz d’échappement dangereux qui passent dans la cartouche subissent une réaction chimique complète et sont convertis en sels inorganiques stables.

S800

Revêtement fonctionnel compact et dur PVD

Informations générales

Types de revêtement

Station de pompage sous vide

Système de vide de haute technologie : panneau de commande intuitif doté de dispositifs de verrouillage de sécurité intégrés.

Données

Four de traitement thermique sous vide

Traitement thermique de précision pour des composants dans des conditions d’ultra-propreté.



Données

des systèmes ALD : technologie ALD de pointe

Contrôle total du revêtement au niveau atomique. Revêtement ALD haute performance :

Données

Station de pompage d' , équipée d'une horloge atomique

Station de pompage pour horloges atomiques
Performances de vide ultra-élevé pour les horloges atomiques au sein d’une chambre chauffée, conçue pour une précision extrême.



Données