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Gas-Reaktor-Kolonne (GRC)

Gas-Reaktor-Kolonne (GRC)

Unerreichte Emissionsminderungsleistung

Speziell entwickelt, um gefährliche Gase aus den Abgasen von Vakuumpumpen bei Halbleiterprozessen sicher zu entfernen.

Der GRC ist ein einzigartiger Heißbettreaktor, der toxische Gase chemisch zerstört. Er behandelt die größte Bandbreite und Mischung von Gasen in einem System, ohne neue Probleme bei der Abwasserentsorgung zu verursachen. Eine geschützte Mischung aus anorganischen Granulaten befindet sich in einer geschweißten Edelstahlpatrone. Diese wird durch Einsetzen in einen elektrischen Rohrheizkörper auf einer erhöhten Temperatur gehalten. Gefährliche Abgase, die in die Kartusche gelangen, werden chemisch vollständig umgesetzt und in stabile anorganische Salze umgewandelt.

S800

Kompakte harte PVD
Funktionsbeschichtung

Allgemeine Informationen

Beschichtungsarten

Vakuumpumpstation

Hightech-Vakuumsystem: Intuitives Bedienfeld mit integrierten Sicherheitsverriegelungen.

Daten

Vakuum-Wärmebehandlungsofen

Präzisionswärmebehandlung von Bauteilen unter ultrareinen Bedingungen.



Daten

ALD-System – Fortschrittliche ALD-Technologie

Vollständige Kontrolle über die Beschichtung auf atomarer Ebene. Hochleistungs-ALD-Beschichtung:

Daten

Atomuhr- -Pumpstation

Atomuhr-Pumpstation – Ultrahochvakuum-Leistung für Atomuhren in einer beheizten Kammer, entwickelt für höchste Präzision.



Daten