iTrap® Prozessgas-Analysatoren

iTrap® Prozessgas-Analysatoren

Prozessgas-Analysatoren

iTrap® ist ein kompaktes, hochempfindliches Fourier-Transform-Massenspektrometer mit Ionenfalle. Es ist ein ideales Werkzeug für die Prozessanalyse und Inline-Prozesskontrolle.

Edwards Process Gas Analyzer - Prozesskontrolle in Echtzeit für Halbleiteranwendungen

Es kann in F&E- und Produktionsumgebungen eingesetzt werden. iTrap unterstützt Sie zuverlässig bei der Erkennung kleinster Spuren von Reaktionsnebenprodukten oder Verunreinigungen, es hilft Ihnen bei der Untersuchung der Wirksamkeit von Reinigungsmitteln und bei der Analyse des Kammerzustands. Ein Massenspektrum wird fast in Echtzeit gemessen, und Sie können sehr kleine Mengen von Molekülen in Ihrer Prozesskammer aufspüren. iTrap ist ein leistungsstarkes Werkzeug in den Händen eines Forschers oder Prozessentwicklungsingenieurs und kann auch als intelligenter Sensor verwendet werden, der in andere Prozessgeräte integriert und von diesen gesteuert wird.

Vorteile

Edwards iTrap setzt sich durch: