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Analyseurs de gaz de process iTrap

Analyseurs de gaz de process iTrap

Analyseurs de gaz industriels

iTrap® est un spectromètre de masse à transformée de Fourier compact et très sensible. C’est un outil idéal pour l’analyse et le contrôle en ligne des processus.

Analyseur de gaz de procédé Edwards - Contrôle des procédés en temps réel pour les applications de semi-conducteurs

Il peut être utilisé dans des environnements de R&D et de production. iTrap vous aide à détecter de manière fiable les plus petites traces de sous-produits de réaction ou de contamination, il vous aide à étudier l’efficacité du nettoyage et à analyser l’état de la chambre. Un spectre de masse est mesuré presque en temps réel, et vous pouvez tracer de très petites quantités de molécules dans votre chambre de traitement. iTrap est un outil puissant entre les mains d’un chercheur ou d’un ingénieur de développement de processus et peut également être utilisé comme un capteur intelligent intégré et contrôlé par d’autres équipements d’outils de traitement.

Avantages

Edwards iTrap convainc à travers :

S800

Revêtement fonctionnel compact et dur PVD

Informations générales

Types de revêtement

Chambre d'essai

Applications : Le système de table proposé permet d’atteindre et de maintenir des pressions équivalentes à un mètre « O » (pression atmosphérique) jusqu’à des niveaux élevés tels que 4000 mètres et au-delà, à l’intérieur d’une chambre d’essai.

Chambre de simulation de la pression atmosphérique

Stations de pompage à vide poussé

Les étuves à vide permettent de cuire, dégazer, chauffer, sécher et recuire des composants pour les industries de l’électronique, de l’aérospatiale et de la défense. Nos systèmes sont disponibles en plusieurs configurations cylindriques ou cubiques.

STATION DE POMPAGE TURBOMOLÉCULAIRE PLASMADIAM :

Four de traitement thermique sous vide

Traitement thermique pour fixer la forme du ressort spiral. Le traitement thermique de fixation est effectué dans les conditions suivantes :

Avantages des fours à vide

Système à ultravide Bake Out

Les étuves à vide permettent de cuire, dégazer, chauffer, sécher et recuire des composants pour les industries de l’électronique, de l’aérospatiale et de la défense. Nos systèmes sont disponibles en plusieurs configurations cylindriques ou cubiques.

Exemple