Nicht verdampfbare Getter (NEG) Pumpen

UVH-XVH

Sind reaktive Metalle, die auf feste Substrate gepresst oder zu Scheiben gesintert wurden. Eine bestimmte Kombination aus Zirkonium, Vanadium und Eisen hat sich für HV- und UHV-Umgebungen als am besten geeignet erwiesen. Die Menge des verwendeten Materials steuert die Geschwindigkeit und Kapazität der NEG-Pumpe, liegt aber typischerweise zwischen 55 und 412 l/s und die Kapazität zwischen 630 und 3600 Torr l/s. Wenn NEGs mit Gasen gesättigt sind, können sie ohne Entlüftung in die Atmosphäre reaktiviert werden.

Ultrahochvakuumpumpe Hauptmerkmale HIGH

Mechanische Vibration eliminiert

Abscheidungspumpen haben keine beweglichen Teile. Vibrationen durch bewegliche Teile und elektrische Geräusche sind ausgeschlossen.

Hohe Strahlungstoleranz

Capture-Pumpen werden aus strahlenresistenten Materialien hergestellt, die mehr als 108 Gray aufweisen. Stecker und Kabel sind ebenfalls aus strahlenresistenten Materialien gefertigt und gewährleisten einen jahrelangen Dauerbetrieb.

Hohe Temperaturtoleranz

ohne besondere Rücksichtnahme können die Capture Pumps bis 250 °C gebacken werden. Wenn Sie die Magnete entfernen, können Sie noch heißere Temperaturen von bis zu 450 °C erreichen. Lange Heißbackzeiten sind für jedes UHV-System entscheidend

Regelmäßige Wartung entfällt

Abscheidungspumpen sind praktisch wartungsfrei und vermeiden kostspielige Vakuumereignisse, da sie von der Atmosphäre abgeschlossen sind, was Zeit, Geld und Ressourcen spart.

Niedrige anfängliche Betriebskosten

Die Anschaffungskosten sind in der Regel geringer als bei vergleichbaren Vakuumpumpen anderer Hersteller. Sie verbrauchen nur wenig oder gar keinen Strom und sind daher über Jahre hinweg kostengünstig zu betreiben.

Komponenten

Komponenten

UVH-XVH

Ultrahochvakuumpumpe Hauptmerkmale HIGH

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