Les robinets-vannes BGV sont des robinets-vannes en acier inoxydable à soufflet d’étanchéité destinés à être utilisés dans des applications nécessitant une étanchéité élevée et un minimum d’hydrocarbures dans le système de vide. Bien qu’ils soient principalement conçus pour l’isolation des pompes dans les fabriques de semi-conducteurs, les robinets-vannes BGV sont également idéaux pour d’autres applications où un différentiel de 1 bar à l’ouverture est souhaitable.
Ils sont conçus pour être utilisés dans une plage de pression allant de 1,2 bar absolu à 1 x 10-8 mbar (1,2 x 105 à 1×10-6 Pa). Les robinets-vannes BGV résistent à 1,2 bar absolu dans les deux sens, ce qui permet de purger la conduite de vide au-dessus de la pompe lorsque le robinet est fermé. Les vannes manuelles BGV ont une indication visuelle de la position de la vanne sur le côté de l’assemblage pour montrer qu’elle est ouverte.
Le robinet-vanne pneumatique BGV Mk3 fonctionne de la même manière que le robinet-vanne manuel, mais le robinet pneumatique est équipé d’interrupteurs à lames qui peuvent être utilisés par votre équipement de contrôle pour déterminer si le robinet est ouvert ou fermé. Ces interrupteurs sont également dotés de LED qui fournissent un affichage visuel de la position du robinet.
Chaque vanne pneumatique BGV Mk3 est équipée d’un solénoïde 24V c.c. et d’une fiche pré-câblée pour une connexion directe à votre pompe à vide Edwards de dernière génération (iHH, iXL, iXM et GXS). Cette prise femelle D-sub à 15 voies offre un point de connexion unique pour l’alimentation du solénoïde et l’activation des LED des indicateurs de position de l’interrupteur Reed. Le câble de la prise « D » à 15 voies et les indicateurs de position du commutateur Reed sont fournis en option avec les vannes BGV. Cependant, la longueur du câble est d’environ 50 cm et une rallonge plus longue est nécessaire pour se connecter à une pompe ou à un contrôleur local.
Pour connecter la vanne pneumatique BGV Mk3 aux anciens produits Edwards, il faut utiliser le câble d’interface BGV Mk2 TIM. La fonctionnalité des DEL n’est pas disponible sur les anciens produits (iGX, GX ou iQ et iH via le module iTIM) car les pompes ne fournissent pas l’alimentation 24 V CC nécessaire à l’activation des DEL. Cependant, la fonction de base de l’indicateur de positionnement de la vanne fonctionne pour l’ouverture et la fermeture car aucune alimentation n’est nécessaire et elle est déclenchée par le champ magnétique.
Le mécanisme d’étanchéité à coin, simple mais innovant, incorporant des patins en PEEK, rend la vanne particulièrement adaptée aux applications avec des niveaux élevés de sous-produits de processus dans le flux de gaz :
Les robinets-vannes pneumatiques BGV LOTO présentent tous les avantages de la gamme BGV standard, avec la fonction de sécurité LOTO et une faible puissance.
Les robinets-vannes BGV LOTO sont des robinets-vannes en acier inoxydable à soufflet d’étanchéité destinés à être utilisés dans des applications nécessitant une étanchéité élevée et un minimum d’hydrocarbures dans le système de vide. Bien qu’elles soient principalement conçues pour l’isolation des pompes dans les fabriques de semi-conducteurs, les vannes BGV sont également idéales pour d’autres applications où un différentiel de 1 bar à l’ouverture est souhaitable.
Le mécanisme de sécurité unique Lock-Out-Tag-Out (LOTO) permet au personnel de travailler librement sur le système de vide sans craindre que la vanne ne s’ouvre par inadvertance. La vanne est physiquement maintenue fermée à l’aide d’une goupille qui la verrouille et l’empêche de s’ouvrir. S’il est nécessaire de verrouiller la vanne, un moraillon de consignation peut être inséré dans la goupille LOTO et cadenassé.
Elles sont conçues pour être utilisées dans une plage de pression allant de 1,2 bar absolu à 1 x 10-9 mbar (1,2 x 105 à 1×10-7 Pa). Les vannes BGV résistent à 1,2 bar absolu dans les deux sens, ce qui permet de purger la ligne de vide au-dessus de la pompe lorsque la vanne est fermée.
La faible puissance d’actionnement requise (1 W seulement) permet une connexion directe à la gamme de pompes sèches de dernière génération d’Edwards sans alimentation externe supplémentaire et facilite l’installation simple « plug and play ».
Les interrupteurs Reed peuvent être utilisés par votre équipement de contrôle pour déterminer si la vanne est ouverte ou fermée. Ces interrupteurs contiennent également des diodes électroluminescentes pour fournir un affichage visuel de la position de la vanne. Chaque vanne est équipée d’un solénoïde 24V c.c. et d’une fiche pré-câblée pour une connexion directe à votre pompe à vide Edwards de dernière génération. Cette prise femelle « D » à 15 voies offre un point de connexion unique pour l’alimentation du solénoïde et le signal des indicateurs de position du commutateur Reed.Le câble de la prise « D » à 15 voies et les indicateurs de position du commutateur à lames sont fournis en option avec les vannes BGV. Cependant, la longueur du câble est d’environ 50 cm et une rallonge plus longue est nécessaire pour se connecter à une pompe ou à un contrôleur local.
Pour connecter la vanne pneumatique BGV LOTO aux anciens produits Edwards, il faut utiliser le câble d’interface BGV TIM. La fonctionnalité des LED n’est pas disponible sur les anciens produits car les pompes ne fournissent pas l’alimentation 24V DC nécessaire à l’activation des LED.
Le mécanisme d’étanchéité à coin, simple mais innovant, incorporant des patins en PEEK, rend la vanne particulièrement adaptée aux applications avec des niveaux élevés de sous-produits dans le flux de gaz :
La vanne pneumatique BGV LOTO peut être branchée directement sur nos pompes à vide sèches de dernière génération, ce qui leur confère une fonctionnalité totale. Les produits de la dernière génération comprennent les pompes iXH, iXL, iXM et GXS.
Pour connecter la vanne pneumatique BGV LOTO à nos anciens produits, vous devez utiliser le câble d’interface BGV Mk2 TIM. Les produits existants comprennent : les pompes iGX, GX (ou iQ et iH via le module iTIM).
La gamme GV de robinets-vannes à soufflet d’étanchéité en acier inoxydable est conçue pour les applications nécessitant une étanchéité globale et un minimum d’hydrocarbures dans l’atmosphère résiduelle.
Ces vannes de qualité supérieure offrent une intégrité de vide élevée associée à une conductance maximale. Les vannes sont disponibles avec des options de brides ISO, CF (scellées au métal) pour les applications à ultra-vide nécessitant des températures de cuisson plus élevées.
Les corps de vanne en acier inoxydable sont brasés sous vide, un processus spécial qui comprend une cuisson à 1100 ˚C. Ce procédé élimine toute possibilité de fuite virtuelle et garantit un produit à faible dégagement gazeux.
Un soufflet en acier inoxydable soudé au laser assure l’étanchéité entre l’actionneur et la vanne. Ce concept facilite l’entretien et permet de démonter la vanne et le mécanisme de liaison tout en conservant la vanne en place.
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