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ATS500

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Systèmes de revêtement de boîtes

ATS500

  • Sources d'évaporation de la résistance
  • Sources de faisceaux d'électrons pour les processus d'évaporation et de décollage à haute cadence
  • assistance à faisceau long pour les applications optiques ou le nettoyage de substrats
  • Systèmes combinés comprenant deux ou plusieurs des éléments ci-dessus
  • Sources d'évaporation à température contrôlée pour les applications OLED et photovoltaïques organiques

Caractéristiques et avantages

  • Flexibilité - une large gamme de processus dans un système unique
  • Procédés par faisceau d'ions - pour les applications de revêtement optique
  • Coût - L'ATS 500 est conçu comme un système abordable et polyvalent.

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