Die integrierte Kryopumpe IS XVS 320F von CTI-Cryogenics setzt die Tradition von Edwards fort, die zuverlässigsten und leistungsstärksten Implantat-Kryopumpen auf dem Markt zu liefern.
Die Kryopumpe On-Board® IS 320F XVS wurde entwickelt, um die höchste Wasserstoffpumpleistung für eine verbesserte Prozessausbeute und einen verbesserten Durchsatz zu liefern und bietet die perfekte Antwort auf die Herausforderungen der heutigen Ionenimplantatanwendungen. Die in die Kryopumpe integrierte intelligente Systemsteuerung gewährleistet eine bessere Prozessqualität, Vakuumkonsistenz und Betriebszeit und liefert gleichzeitig Systeminformationen in Echtzeit für eine optimale Steuerung der Array-Temperaturen. Die Vakuumqualität wird durch die automatische Anpassung an wechselnde Temperatur-/Gasbelastungsbedingungen verbessert.
