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A bord® IS 320F XVS

A bord® IS 320F XVS

Amélioration du vide

La cryopompe CTI-Cryogenics On-Board IS XVS 320F perpétue la tradition d’Edwards de fournir les cryopompes d’implants les plus fiables et les plus performantes du marché.

Atteindre de nouveaux niveaux de performance des cryopompes

La cryopompe On-Board® IS 320F XVS est conçue pour offrir les meilleures performances de pompage de l’hydrogène afin d’améliorer le rendement du processus et le débit, offrant ainsi la réponse parfaite aux défis actuels des applications d’implants ioniques. Le système de contrôle intelligent intégré à la cryopompe garantit une meilleure qualité du processus, une constance du vide et un temps de fonctionnement, tout en fournissant des informations en temps réel sur le système pour un contrôle optimal des températures de la matrice. La qualité du vide est améliorée par l’adaptation automatique aux conditions changeantes de charge thermique/gazeuse.

Performances stables en matière de vide

  • Réduction de la variation de la vitesse de pompage du H2 entre les régénérations
  • Réduction de l’impact de la contamination de la résine photosensible sur la vitesse de pompage du H2
  • Optimisation de la stabilité des températures de la matrice

Amélioration de la performance du vide

  • Vitesse de pompage H2 élevée – 15 500 L/S
  • Capacité H2 élevée – 40 STD-L

Compatibilité des systèmes

  • Systèmes de cryopompes IS embarqués
  • Compresseurs IS-1000, IS-2000V, IS-1800 XVS

S800

Revêtement fonctionnel compact et dur PVD

Informations générales

Types de revêtement

Chambre d'essai

Applications : Le système de table proposé permet d’atteindre et de maintenir des pressions équivalentes à un mètre « O » (pression atmosphérique) jusqu’à des niveaux élevés tels que 4000 mètres et au-delà, à l’intérieur d’une chambre d’essai.

Chambre de simulation de la pression atmosphérique

Stations de pompage à vide poussé

Les étuves à vide permettent de cuire, dégazer, chauffer, sécher et recuire des composants pour les industries de l’électronique, de l’aérospatiale et de la défense. Nos systèmes sont disponibles en plusieurs configurations cylindriques ou cubiques.

STATION DE POMPAGE TURBOMOLÉCULAIRE PLASMADIAM :

Four de traitement thermique sous vide

Traitement thermique pour fixer la forme du ressort spiral. Le traitement thermique de fixation est effectué dans les conditions suivantes :

Avantages des fours à vide

Système à ultravide Bake Out

Les étuves à vide permettent de cuire, dégazer, chauffer, sécher et recuire des composants pour les industries de l’électronique, de l’aérospatiale et de la défense. Nos systèmes sont disponibles en plusieurs configurations cylindriques ou cubiques.

Exemple