On-Board-Kryopumpen mit vollständig integrierten Steuerungen und unterstützenden Peripheriegeräten bieten eine hervorragende Betriebszeit und konsistente Leistung, um die allgemeine Werkzeugproduktivität und Betriebszeit zu erhöhen.
Edwards CTI-Cryogenics On-Board-Vakuumpumpen beschleunigen die Integration und verbessern den Systembetrieb – bekannt als weltweiter Standard für Zuverlässigkeit und Leistung.
| Integriertes Kryopumpenmodell | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Pumpgeschwindigkeiten – Liter/Sek. | ||||||||
| Wasserdampf | 1,100 | 4,000 | 4,000 | 9,000 | 9,500 | 6,500 | 17,500 | 30,000 |
| Luft | 370 | 1,500 | 1,500 | 3,000 | 3,600 | 2,200 | 6,000 | 10,000 |
| Wasserstoff | 370 | 2,500 | 2,200 | 5,000 | 6,000 | 3,200 | 12,000 | 12,000 |
| Argon | 310 | 1,200 | 1,200 | 2,500 | 3,000 | 1,800 | 5,000 | 8,400 |
| Kapazität – Std. Liter | ||||||||
| Argon | 210 | 1,000 | 1,000 | 2,000 | 2,000 | 1,000 | 2,500 | 6,000 |
| Wasserstoff (5×10 -6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| Nominale Regenerationszeit (kalt zu kalt) | ||||||||
| Erste und zweite Stufe | 75min | 2,5 Std | 2,5 Std | 2,5 Std | 2,5 Std | <3,3 Std | 3 Std | <3,8 Std |
| Zweite Etage | <1 Std | <1 Std | <1 Std | <1 Std | <1 Std | <1,5 Std | <1,5 Std | – |
