Cryopompes embarquées

Cryopompes embarquées

Amélioration du vide

Les cryopompes embarquées, avec leurs commandes entièrement intégrées et les périphériques correspondants, offrent un temps de fonctionnement supérieur et des performances constantes, ce qui permet d’augmenter la productivité et le temps de fonctionnement de l’outil dans son ensemble.

Accélérer l'intégration et améliorer le fonctionnement du système

Les pompes à vide embarquées Edwards CTI-Cryogenics accélèrent l’intégration et améliorent le fonctionnement du système – elles sont reconnues comme la norme mondiale en matière de fiabilité et de performance.

Caractéristiques principales

Modèle de cryopompe embarquée

Modèle de cryopompe embarquée4F88F1010F250F400500
Vitesses de pompage – litres/sec.
Vapeur d’eau1,1004,0004,0009,0009,5006,50017,50030,000
Air3701,5001,5003,0003,6002,2006,00010,000
Hydrogène3702,5002,2005,0006,0003,20012,00012,000
Argon3101,2001,2002,5003,0001,8005,0008,400
Capacité – std. litre
Argon2101,0001,0002,0002,0001,0002,5006,000
Hydrogène (5×10-6 Torr)317122424164245
Temps de régénération nominal (de froid à froid)
Première et deuxième étapes75 min2,5 heures2,5 heures2,5 heures2,5 heures<3,3 heures3 heures<3,8 heures
Deuxième étape<1 heure<1 heure<1 heure<1 heure<1 heure<1,5 heures<1,5 heures