Cryopompes embarquées

Amélioration du vide

Les cryopompes embarquées, avec leurs commandes entièrement intégrées et les périphériques correspondants, offrent un temps de fonctionnement supérieur et des performances constantes, ce qui permet d’augmenter la productivité et le temps de fonctionnement de l’outil dans son ensemble.

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Accélérer l'intégration et améliorer le fonctionnement du système

Les pompes à vide embarquées Edwards CTI-Cryogenics accélèrent l’intégration et améliorent le fonctionnement du système – elles sont reconnues comme la norme mondiale en matière de fiabilité et de performance.

Caractéristiques principales

Capacité Fast Regen™ qui prolonge la performance de la cryopompe entre les régénérations.
Capacité de régénération simultanée, rendue possible par la mise en réseau de vos cryopompes, qui accélère la régénération globale du système.
Un microprocesseur de contrôle intégré pour améliorer les performances, effectuer des routines de diagnostic et fournir une capacité de communication.
Un logiciel sophistiqué et des interfaces utilisateur graphiques faciles à utiliser pour améliorer considérablement les performances et le fonctionnement.

Modèle de cryopompe embarquée

Modèle de cryopompe embarquée	4F	8	8F	10	10F	250F	400	500
Vitesses de pompage – litres/sec.
Vapeur d’eau	1,100	4,000	4,000	9,000	9,500	6,500	17,500	30,000
Air	370	1,500	1,500	3,000	3,600	2,200	6,000	10,000
Hydrogène	370	2,500	2,200	5,000	6,000	3,200	12,000	12,000
Argon	310	1,200	1,200	2,500	3,000	1,800	5,000	8,400
Capacité – std. litre
Argon	210	1,000	1,000	2,000	2,000	1,000	2,500	6,000
Hydrogène (^5×10-6 Torr)	3	17	12	24	24	16	42	45
Temps de régénération nominal (de froid à froid)
Première et deuxième étapes	75 min	2,5 heures	2,5 heures	2,5 heures	2,5 heures	<3,3 heures	3 heures	<3,8 heures
Deuxième étape	<1 heure	<1 heure	<1 heure	<1 heure	<1 heure	<1,5 heures	<1,5 heures	–