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Proteus

Konkurrenzlose Leistung bei der Emissionsminderung

Edwards Proteus ermöglicht die effektive Behandlung von PFC und anderen Treibhausgasen ohne die Verwendung von Erdgas oder anderen Kohlenwasserstoffen.

Edwards Proteus

Proteus ist eine benutzerfreundliche und kostengünstige Lösung mit geringem Stromverbrauch, um den CO2-Fußabdruck der Halbleiterfertigung zu reduzieren.

Eine einzigartige Low-Power-Plasmatechnologie, die eine hohe Zerstörungsrateneffizienz (DRE) von PFC-Gasen wie CF4 und anderen Treibhausgasen wie SF6, NF3 und N2O erreicht. Dies macht Proteus zu einer der kosteneffektivsten Lösungen für die Minderung von Treibhauseffekten aus Halbleiterherstellungsprozessen.
Die Betriebsleistung des Proteus Plasma ist in Abhängigkeit von der eingehenden Gaslast vollständig einstellbar, sodass Benutzer den Stromverbrauch minimieren und gleichzeitig eine optimale Behandlungseffizienz aufrechterhalten können. Die Schnittstelle mit dem Prozesswerkzeug und der automatischen Plasmaleistungsmodulation bietet weitere Möglichkeiten zur Reduzierung der Betriebskosten bei gleichzeitiger Beibehaltung der höchsten Umweltleistung.
Die PFC-Gasminderung erfordert hohe Temperaturen, die die Bildung von NOx-Gasen fördern. Die Proteus-Plasma-Technologie wurde entwickelt, um „thermische NOx“-Emissionen zu minimieren und gilt heute als eines der führenden „Low-NOx“-PFC-Minderungssysteme.
Die Zerstörung von PFC-Molekülen neigt dazu, die Säurebelastung durch die Bildung giftiger und ätzender wasserlöslicher Verbindungen zu erhöhen. Proteus Plasmabrenner und Nassreinigungsstufen wurden speziell entwickelt, um die Korrosion von Komponenten zu minimieren. In Kombination mit einer hervorragenden Pulverhandhabungsfähigkeit ist Proteus in der Lage, lange MTBS zu erreichen und gleichzeitig eine sichere Arbeitsumgebung in der Fabrik aufrechtzuerhalten.
Proteus Dual bietet eine vollständig integrierte „Backup“-Lösung, um die Verfügbarkeit der Abgasreinigung zu gewährleisten, ohne dass komplizierte Rohrleitungen und Schnittstellen erforderlich sind. Proteus Dual ist eine kostengünstige, einfach zu installierende Lösung. Es trägt dazu bei, die Betriebszeit des Prozesses aufrechtzuerhalten, den Platzbedarf und die Installationskosten zu reduzieren und gleichzeitig die Sicherheit der Teilfabrik zu verbessern.

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