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Proteus

Proteus

Réduction des émissions

Edwards Proteus permet de traiter efficacement les PFC et autres gaz à effet de serre sans utiliser de gaz naturel ou d’autres hydrocarbures.

Edwards Proteus

Proteus est une solution à faible consommation d’énergie, conviviale et rentable pour réduire l’empreinte carbone de la fabrication de semi-conducteurs.

S800

Revêtement fonctionnel compact et dur PVD

Informations générales

Types de revêtement

Station de pompage sous vide

Système de vide de haute technologie : panneau de commande intuitif doté de dispositifs de verrouillage de sécurité intégrés.

Données

Four de traitement thermique sous vide

Traitement thermique de précision pour des composants dans des conditions d’ultra-propreté.



Données

des systèmes ALD : technologie ALD de pointe

Contrôle total du revêtement au niveau atomique. Revêtement ALD haute performance :

Données

Station de pompage d' , équipée d'une horloge atomique

Station de pompage pour horloges atomiques
Performances de vide ultra-élevé pour les horloges atomiques au sein d’une chambre chauffée, conçue pour une précision extrême.



Données