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iXM – iXH – iXL Serie

iXM – iXH – iXL Serie

Primäres Vakuum

Unser innovatives Sortiment an trockenen Pumpen bietet Ihnen Spitzentechnologie, die Ihre Halbleiter- und Elektronikfertigungsumgebung verbessert. Jede Produktreihe wurde speziell entwickelt, um Ihnen Vorteile bei der Umweltverträglichkeit, der Zuverlässigkeit unter rauen Bedingungen und der Agilität bei leichten Anwendungen zu bieten.

iXM Trockene Pumpe

Umweltfreundlicher und zuverlässiger mit niedrigeren Betriebskosten

iXH Trockene Pumpe

100 - 6.000 m³/h
Mehr Prozessfähigkeit
'Plug and Pump'
Keine Routinewartung

iXL Trockene Pumpe

110 / 930 m³/h
0,013 / 0,001 mbar
Stecker und Pumpe
<55 dB(A)
Keine routinemäßige Wartung

iXM-Serie - niedriger Energieverbrauch, hohe Leistung

Die trockenen Pumpen der Edwards iXM-Serie mit niedrigem Energieverbrauch können echte Prozessverbesserungen mit erhöhter Betriebszeit, reduzierter Umweltbelastung und Kostenvorteilen für Ihre kritischsten Anwendungen bringen.

iXH-Serie für raue Umgebungen

Die iXH-Trockenpumpen setzen neue Maßstäbe in Bezug auf die Eignung für raue Prozesse, Zuverlässigkeit und niedrigere Betriebskosten.

iXL-Serie für leichte Anwendungen

Die iXL-Serie ist eine Reihe von kompakten trockenen Pumpen mit niedrigem Energieverbrauch für leichte Anwendungen wie Wafer-Handling, PVD und Metrologie.

iXH Technische Daten

Einheit iXH100 iXH610 iXH1210
Höchstes Saugvermögen m³/h 100 665 1025
Enddruck mbar 0.02 0.005 0.005
Leistung im Endzustand kW 2.1 2.6 3.2
Leistung im grünen Modus kW 0.045 0.045 0.045
Lärm bei ultimativem dB(A) 63 64 64

iXL Technische Daten

Einheit iXL120N iXL1000N
Spitzen-Pumpgeschwindigkeit m³/h 110 930
Enddruck mbar 0.013 0.001
Leistung bei Ultimate kW 0.55 1
Leistung im grünen Modus kW 0.045 0.05
Lärm bei Ultimate dB(A) < 55 < 55

S800

Kompakte harte PVD
Funktionsbeschichtung

Allgemeine Informationen

Beschichtungsarten

Testkammer

Anwendungen: Das angebotene Tischsystem ermöglicht das Erreichen und Aufrechterhalten eines Drucks, der einem O-Meter (Atmosphärendruck) entspricht, bis zu einer Höhe von 4000 Metern und darüber hinaus in einer Testkammer.

Atmosphärendruck-Simulator-Kammer

Hochvakuum-Pumpstände

Vakuumöfen backen, entgasen, erhitzen, trocknen und glühen Komponenten für die Elektronik-, Luft- und Raumfahrt- und Verteidigungsindustrie. Unsere Systeme sind in verschiedenen zylindrischen oder kubischen Konfigurationen erhältlich.

PLASMADIAM TURBOMOLEKULAR-PUMPSTATION:

Vakuum-Wärmebehandlungsofen

Wärmebehandlung zur Fixierung der Form der Spiralfeder. Die fixierende Wärmebehandlung wird unter den folgenden Bedingungen durchgeführt:

Vorteile von Vakuumöfen

Ultrahochvakuum-System Ausheizen

Vakuumöfen backen, entgasen, erhitzen, trocknen und glühen Komponenten für die Elektronik-, Luft- und Raumfahrt- und Verteidigungsindustrie. Unsere Systeme sind in verschiedenen zylindrischen oder kubischen Konfigurationen erhältlich.

Beispiel