iXM – iXH – iXL Serie – ≡ Plasmadiam®

iXM – iXH – iXL Serie

Primäres Vakuum

Unser innovatives Sortiment an trockenen Pumpen bietet Ihnen Spitzentechnologie, die Ihre Halbleiter- und Elektronikfertigungsumgebung verbessert. Jede Produktreihe wurde speziell entwickelt, um Ihnen Vorteile bei der Umweltverträglichkeit, der Zuverlässigkeit unter rauen Bedingungen und der Agilität bei leichten Anwendungen zu bieten.

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iXM Trockene Pumpe

Umweltfreundlicher und zuverlässiger mit niedrigeren Betriebskosten

iXH Trockene Pumpe

100 - 6.000 m³/h
Mehr Prozessfähigkeit
'Plug and Pump'
Keine Routinewartung

iXL Trockene Pumpe

110 / 930 m³/h
0,013 / 0,001 mbar
Stecker und Pumpe
<55 dB(A)
Keine routinemäßige Wartung

iXM-Serie - niedriger Energieverbrauch, hohe Leistung

Die trockenen Pumpen der Edwards iXM-Serie mit niedrigem Energieverbrauch können echte Prozessverbesserungen mit erhöhter Betriebszeit, reduzierter Umweltbelastung und Kostenvorteilen für Ihre kritischsten Anwendungen bringen.

Der energieeffiziente Roots-Mechanismus kann die Leistungsaufnahme um bis zu 60% reduzieren, was die Umweltbelastung verringert und die Betriebskosten senkt.
Die Gasbarrieretechnologie und Verbesserungen im thermischen Design ermöglichen eine viermal höhere Korrosionsbeständigkeit als unsere vorherige Serie
Kompaktes und leichtes Design, kombiniert mit außergewöhnlich geringer Geräuschentwicklung und Vibration, bietet Ihnen mehr Vielseitigkeit
Erhältlich mit Xcede-Technologie für verbesserte Korrosionsbeständigkeit
Hochentwickelte Funktionen für die Handhabung von Pulvern sorgen für maximale Zuverlässigkeit und eine längere Lebensdauer der Pumpe bei mehrschichtigen Ätzprozessen sowie für einen geringeren Stromverbrauch bei CVD-Prozessen.

iXH-Serie für raue Umgebungen

Die iXH-Trockenpumpen setzen neue Maßstäbe in Bezug auf die Eignung für raue Prozesse, Zuverlässigkeit und niedrigere Betriebskosten.

Der große Temperaturbereich ermöglicht es Ihnen, die Pumpe für eine minimale Ansammlung von Nebenprodukten durch Kondensation und Ablagerung zu optimieren
Die trockenen iXH Mk2-Pumpen bieten eine noch längere Lebensdauer bei den härtesten Prozessen und können die Energieeffizienz erheblich verbessern
Innovative Pumpendichtungstechnologie kann die Prozesslebensdauer verlängern und Ihr Leckagerisiko reduzieren
Erhältlich mit Xcede-Technologie für verbesserte Korrosionsbeständigkeit

iXL-Serie für leichte Anwendungen

Die iXL-Serie ist eine Reihe von kompakten trockenen Pumpen mit niedrigem Energieverbrauch für leichte Anwendungen wie Wafer-Handling, PVD und Metrologie.

Schnelles Abpumpen der Kammer und extrem niedriger Stromverbrauch
Die trockenen Pumpen iXL600(N) und iXL1000(N) gehören zu den kleinsten und leisesten Pumpen, die für leichte Anwendungen erhältlich sind
Die Varianten iXL600M und iXL1000M sind prozessgehärtet und speziell für dielektrisches (Oxid-)Ätzen und andere ähnliche Anwendungen konzipiert
Die trockenen Pumpen iXL600(N) und iXL1000(N) zeichnen sich durch ein hohes Saugvermögen und einen niedrigen Energieverbrauch aus
Ein grüner Modus ermöglicht einen reduzierten Energieverbrauch während der Leerlaufzeiten, was die Kosten senkt und zur Verbesserung Ihrer Umweltbilanz beiträgt.
Die iXL900R ist die schnellste Loadlock-Pumpe, die derzeit in ihrer Klasse für FPD-Loadlock-Anwendungen erhältlich ist. Mit dieser neuen Pumpe können Kunden ihre Betriebskosten und Installationszeiten erheblich reduzieren. Sie eignet sich besonders gut für die größten Schleusenkammern, die für Anwendungen der Plasmadampfabscheidung (PVD) verwendet werden. Darüber hinaus benötigen die Kunden weniger Pumpen pro Schleusenkammer, was die Installationszeit, die Systemisierungskosten, die Wartung und den Verbrauch von Betriebsmitteln reduziert.

iXH Technische Daten

	Einheit	iXH100	iXH610	iXH1210
Höchstes Saugvermögen	m³/h	100	665	1025
Enddruck	mbar	0.02	0.005	0.005
Leistung im Endzustand	kW	2.1	2.6	3.2
Leistung im grünen Modus	kW	0.045	0.045	0.045
Lärm bei ultimativem	dB(A)	63	64	64

iXL Technische Daten

	Einheit	iXL120N	iXL1000N
Spitzen-Pumpgeschwindigkeit	m³/h	110	930
Enddruck	mbar	0.013	0.001
Leistung bei Ultimate	kW	0.55	1
Leistung im grünen Modus	kW	0.045	0.05
Lärm bei Ultimate	dB(A)	< 55	< 55

Komponenten