Série iXM – iXH – iXL – ≡ Plasmadiam®

Série iXM – iXH – iXL

Vide primaire

Notre gamme innovante de pompes sèches vous offre une technologie de pointe conçue pour améliorer votre environnement de fabrication de semi-conducteurs et d’électronique. Chaque gamme a été spécialement conçue pour vous apporter des avantages en termes de performances environnementales, de fiabilité dans des conditions difficiles et d’agilité dans des applications légères.

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Pompe sèche iXM

Plus écologique et plus fiable, avec un coût de possession réduit

Pompe sèche iXH

100 - 6.000 m³/h
Plus de possibilités de traitement
"Plug and Pump"
Pas d'entretien de routine

Pompe sèche iXL

110 / 930 m³/h
0,013 / 0,001 mbar
Plug and Pump
<55 dB(A)
Pas d'entretien de routine

Série iXM - faible consommation d'énergie, haute performance

Les pompes sèches Edwards iXM à faible consommation d’énergie peuvent apporter de réelles améliorations aux processus en augmentant le temps de fonctionnement, en réduisant l’impact sur l’environnement et en réduisant les coûts pour vos applications les plus critiques.

Le mécanisme d'enracinement économe en énergie peut réduire la puissance absorbée jusqu'à 60 %, réduisant ainsi l'impact sur l'environnement et le coût de possession.
La technologie de la barrière gazeuse et les améliorations de la conception thermique permettent une résistance à la corrosion quatre fois supérieure à celle de nos séries précédentes.
La conception compacte et légère, associée à un niveau de bruit et de vibration exceptionnellement bas, vous offre une plus grande polyvalence.
Disponible avec la technologie Xcede pour une meilleure résistance à la corrosion
Les caractéristiques avancées de traitement des poudres offrent une fiabilité maximale et une durée de vie prolongée de la pompe pour les processus de gravure multicouche et une consommation d'énergie réduite pour les processus CVD.

Série iXH pour les environnements difficiles

La gamme de pompes sèches iXH établit de nouvelles normes en matière de capacité, de fiabilité et de réduction des coûts de propriété pour les procédés difficiles.

Une large gamme de températures vous permet d'optimiser la pompe afin de minimiser l'accumulation de sous-produits provenant de la condensation et du placage.
Les pompes sèches iXH Mk2 offrent une durée de vie encore plus longue pour les processus les plus difficiles et permettent d'améliorer considérablement l'efficacité énergétique.
Une technologie innovante d'étanchéité des pompes peut prolonger la durée de vie des processus et réduire les risques de fuite.
Disponible avec la technologie Xcede pour une meilleure résistance à la corrosion

Série iXL pour les applications légères

La série iXL est une gamme de pompes sèches compactes à faible consommation d’énergie pour des applications légères telles que la manipulation de plaquettes, le dépôt en phase vapeur (PVD) et la métrologie.

Pompage rapide de la chambre et consommation d'énergie extrêmement faible
Les pompes sèches iXL600(N) et iXL1000(N) sont parmi les plus petites et les plus silencieuses disponibles pour les applications légères.
Les variantes iXL600M et iXL1000M sont durcies par le processus et spécialement conçues pour la gravure diélectrique (oxyde) et d'autres applications similaires.
Les pompes sèches iXL600(N) et iXL1000(N) se caractérisent par une vitesse de pompage élevée et une faible consommation d'énergie.
Un mode vert permet de réduire la consommation d'énergie pendant les périodes d'inactivité, ce qui réduit les coûts et contribue à améliorer votre performance environnementale.
L'iXL900R est la pompe de sas la plus rapide actuellement disponible dans sa catégorie pour les applications de sas FPD. Les clients peuvent réduire considérablement leurs coûts d'exploitation et leurs temps d'installation grâce à cette nouvelle pompe, qui est particulièrement bien adaptée aux plus grandes chambres de sas utilisées pour les applications de dépôt en phase vapeur par plasma (PVD). En outre, les clients auront besoin de moins de pompes par sas, ce qui réduit le temps d'installation, les coûts de systématisation, la maintenance et la consommation d'énergie.

Spécifications techniques de l'iXH

	Unité	iXH100	iXH610	iXH1210
Vitesse de pompage maximale	m³/h	100	665	1025
Pression finale	mbar	0.02	0.005	0.005
Puissance à l’ultime	kW	2.1	2.6	3.2
Puissance en mode vert	kW	0.045	0.045	0.045
Bruit à la limite	dB(A)	63	64	64

Spécifications techniques de l'iXL

	Unité	iXL120N	iXL1000N
Vitesse de pompage maximale	m³/h	110	930
Pression ultime	mbar	0.013	0.001
Puissance à l’ultime	kW	0.55	1
Puissance en mode vert	kW	0.045	0.05
Bruit au niveau de l’Ultimate	dB(A)	< 55	< 55

Composants

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