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Série iXM – iXH – iXL

Série iXM – iXH – iXL

Vide primaire

Notre gamme innovante de pompes sèches vous offre une technologie de pointe conçue pour améliorer votre environnement de fabrication de semi-conducteurs et d’électronique. Chaque gamme a été spécialement conçue pour vous apporter des avantages en termes de performances environnementales, de fiabilité dans des conditions difficiles et d’agilité dans des applications légères.

Pompe sèche iXM

Plus écologique et plus fiable, avec un coût de possession réduit

Pompe sèche iXH

100 - 6.000 m³/h
Plus de possibilités de traitement
"Plug and Pump"
Pas d'entretien de routine

Pompe sèche iXL

110 / 930 m³/h
0,013 / 0,001 mbar
Plug and Pump
<55 dB(A)
Pas d'entretien de routine

Série iXM - faible consommation d'énergie, haute performance

Les pompes sèches Edwards iXM à faible consommation d’énergie peuvent apporter de réelles améliorations aux processus en augmentant le temps de fonctionnement, en réduisant l’impact sur l’environnement et en réduisant les coûts pour vos applications les plus critiques.

Série iXH pour les environnements difficiles

La gamme de pompes sèches iXH établit de nouvelles normes en matière de capacité, de fiabilité et de réduction des coûts de propriété pour les procédés difficiles.

Série iXL pour les applications légères

La série iXL est une gamme de pompes sèches compactes à faible consommation d’énergie pour des applications légères telles que la manipulation de plaquettes, le dépôt en phase vapeur (PVD) et la métrologie.

Spécifications techniques de l'iXH

Unité iXH100 iXH610 iXH1210
Vitesse de pompage maximale m³/h 100 665 1025
Pression finale mbar 0.02 0.005 0.005
Puissance à l’ultime kW 2.1 2.6 3.2
Puissance en mode vert kW 0.045 0.045 0.045
Bruit à la limite dB(A) 63 64 64

Spécifications techniques de l'iXL

Unité iXL120N iXL1000N
Vitesse de pompage maximale m³/h 110 930
Pression ultime mbar 0.013 0.001
Puissance à l’ultime kW 0.55 1
Puissance en mode vert kW 0.045 0.05
Bruit au niveau de l’Ultimate dB(A) < 55 < 55

S800

Revêtement fonctionnel compact et dur PVD

Informations générales

Types de revêtement

Chambre d'essai

Applications : Le système de table proposé permet d’atteindre et de maintenir des pressions équivalentes à un mètre « O » (pression atmosphérique) jusqu’à des niveaux élevés tels que 4000 mètres et au-delà, à l’intérieur d’une chambre d’essai.

Chambre de simulation de la pression atmosphérique

Stations de pompage à vide poussé

Les étuves à vide permettent de cuire, dégazer, chauffer, sécher et recuire des composants pour les industries de l’électronique, de l’aérospatiale et de la défense. Nos systèmes sont disponibles en plusieurs configurations cylindriques ou cubiques.

STATION DE POMPAGE TURBOMOLÉCULAIRE PLASMADIAM :

Four de traitement thermique sous vide

Traitement thermique pour fixer la forme du ressort spiral. Le traitement thermique de fixation est effectué dans les conditions suivantes :

Avantages des fours à vide

Système à ultravide Bake Out

Les étuves à vide permettent de cuire, dégazer, chauffer, sécher et recuire des composants pour les industries de l’électronique, de l’aérospatiale et de la défense. Nos systèmes sont disponibles en plusieurs configurations cylindriques ou cubiques.

Exemple